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斜靶共溅射系统
"斜靶共溅射系统"标讯
中标
磁控溅射薄膜沉积系统(GY202308008)自购结果公示
金额
49.8万元
发布时间
2023/11/24
招标产品
磁控溅射薄膜沉积系统
溅射真空室
磁控溅射靶
旋转加热基片台
加热系统
直流电源
射频电源
工作气路
真空获得系统
安装机台
真空测量
水冷却及报警系统
设备电控系统
全自动控制系统
斜靶共溅射系统
真空系统
不锈钢真空室
靶枪
质量流量控制器
至少2个直流源
样品盘
真空计
提供一次免费对设备拆和装服务
中标公司
中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
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