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无掩模直写图形
"无掩模直写图形"标讯
招标
上海科技大学投影数字光刻系统的公开招标公告
金额
280万元
项目地址
上海市
发布时间
2023/09/08
招标产品
太阳能光电板
MEMS/NEMS/传感器
集成衍射光学器件
二维材料
微流体器件
无掩模直写图形
微电子制作
投影数字光刻系统
光子芯片
石墨烯器件
掩模板制作
招标公司
上海科技大学
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