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晶舟清洗
"晶舟清洗"标讯
中标
紫旸升光电（淄博）第三阶段设备采购项目中标结果公告
金额
12936万元
发布时间
2021/12/30
招标产品
生产执行设备
晶舟清洗
干泵
聚焦离子束
成盒
模组
绑定
表面瑕疵
电子束扫描
表面颗粒检测设备
光激发检测
色度
对位
尾气处理
薄化
晶圆传片设备
附属装置
切割
共聚焦
光学显微镜设备
膜厚
线宽
中标公司
苏州路图微电子科技有限公司
共15家
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