首页
>
招投标
>
样品台为不小于4英寸双腔腔体
"样品台为不小于4英寸双腔腔体"标讯
招标
原子层沉积系统采购项目(二次)公开招标招标公告
金额
99万元
项目地址
福建省
发布时间
2023/02/15
招标产品
臭氧源系统
耐高温执行器
等离子体(ICP)发生器
原子层沉积系统
前源输送管路
独立进气口
前驱体输送管路
控制臭氧
反应腔系统
加热保温系统
节能产品
臭氧破坏器
臭氧发生器
惰性气体自清洗系统
等离子体系统
等离子体源
质量流量控制器
ALD专用隔膜阀
金属前驱体源输送管路
载气辅助源输送系统
样品台为不小于4英寸双腔腔体
阀体内置有直径为1/8英寸的加热器
仪器仪表
加热源容器
加热源输送管路
4路液源
射频电源
载气管路
前驱体源输送系统
沉积单一薄膜
招标公司
福州大学
招标
原子层沉积系统采购项目公开招标招标公告
金额
99万元
项目地址
福建省
发布时间
2023/01/17
招标产品
臭氧源系统
耐高温执行器
环境标志产品
等离子体(ICP)发生器
原子层沉积系统
前源输送管路
独立进气口
前驱体输送管路
控制臭氧
信息安全产品
反应腔系统
加热保温系统
节能产品
臭氧破坏器
臭氧发生器
惰性气体自清洗系统
等离子体系统
等离子体源
质量流量控制器
ALD专用隔膜阀
金属前驱体源输送管路
载气辅助源输送系统
样品台为不小于4英寸双腔腔体
阀体内置有直径为1/8英寸的加热器
仪器仪表
加热源容器
加热源输送管路
4路液源
射频电源
载气管路
前驱体源输送系统
沉积单一薄膜
招标公司
福州大学
返回顶部
