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水冷溅射阴极
"水冷溅射阴极"标讯
招标
中国科学院大连化学物理研究所盒式卷对卷溅射镀膜设备项目公开招标公告（第二次）
金额
700万元
项目地址
辽宁省
发布时间
2023/02/14
招标产品
张力控制系统
实现前后功能层薄膜制备
规范编制
柔性薄膜电池组件
真空腔室
45min内工艺腔室
盒式卷溅射设备
技术培训
检测
实现前后电极制备
设备安装调试
抽真空
功能测试
监理
卷材放卷
水冷溅射阴极
加热和温控功能
软件升级
常规/专用工器具
功能层制备
单体调试
卷绕控制系统
整体设计
操作维护
常见故障的分析及排除
材料靶材溅射沉积
设备设备安装
参数调整
盒式卷对卷溅射镀膜设备
无油干泵
项目管理
硬件升级
实现电荷传输层制备
卷盒
招标公司
中国科学院大连化学物理研究所
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