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液态源管路系统
"液态源管路系统"标讯
招标
南京大学苏州校区双腔互联多功能原子层沉积设备采购项目公开招标公告
发布时间
2023/12/04
招标产品
臭氧系统
循环水冷却器
等离子系统
用于沉积介质薄膜材料沉积
单片反应腔(与传片系统集成)
液态源料瓶
双接口Load-Lock腔及传片装置
液态源管路系统
工艺气体管路
分子泵
原子层沉积设备
扩散增强装置
真空泵
多片反应腔
用于金属和导电氮化物薄膜材料沉积
加热源料瓶
基底升降系统
加热源管路系统
门阀
真空传送系统
尾气处理器
招标
南京大学苏州校区双腔互联多功能原子层沉积设备采购项目招标公告
金额
700万元
项目地址
江苏省
发布时间
2023/12/04
招标产品
臭氧系统
循环水冷却器
等离子系统
沉积介质薄膜材料沉积
液态源料瓶
双接口Load-Lock腔及传片装置
液态源管路系统
工艺气体管路
分子泵
扩散增强装置
真空泵
双腔互联多功能原子层沉积设备
进口设备
多片反应腔
单片反应腔
加热源料瓶
基底升降系统
加热源管路系统
门阀
真空传送系统
原子层沉积设备主机
尾气处理器
招标公司
南京大学
招标
南京大学苏州校区双腔互联多功能原子层沉积设备采购项目公开招标公告
项目地址
江苏省
发布时间
2023/12/04
招标产品
臭氧系统
循环水冷却器
等离子系统
液态源料瓶
液态源管路系统
工艺气体管路
分子泵
金属和导电氮化物薄膜材料沉积
扩散增强装置
双腔互联多功能原子层沉积设备
多片反应腔
单片反应腔
加热源料瓶
基底升降系统
工艺腔
加热源管路系统
门阀
真空传送系统
传片装置
原子层沉积设备主机
尾气处理器
耐腐蚀工艺真空泵
招标公司
南京大学
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