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腔体设计预留接口
"腔体设计预留接口"标讯
招标
南方科技大学SUSTech-JC-2024-00778竞采采购公告
金额
91万元
项目地址
广东省
发布时间
2024/05/24
招标产品
气动阀
700L/s分子泵
吸气剂泵
真空紫外光源
PLC控制系统
前级腔
离子泵
辅助腔室
腔体设计预留接口
超高真空磁屏蔽腔体
冷泵
真空系统
离子规
分析器
真空紫外激光
招标公司
南方科技大学
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