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臭氧反应源
"臭氧反应源"标讯
中标
暨南大学原子层沉积采购项目（0809-2140GDG13362）中标公告
金额
41.5万元
项目地址
广东省
发布时间
2022/06/21
招标产品
原子层沉积主机
反应源瓶
臭氧反应源
主动调压节流沉积附件
真空系统
尾端粒子吸附阱
招标公司
暨南大学
中标公司
东莞纳锋微电子装备有限公司
中标
暨南大学原子层沉积采购项目（0809-2140GDG13362）中标公告
金额
41.5万元
项目地址
广东省
发布时间
2022/01/06
招标产品
原子层沉积主机
反应源瓶
臭氧反应源
主动调压节流沉积附件
真空系统
尾端粒子吸附阱
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