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裁片台
"裁片台"标讯
中标
复旦大学半自动互连刻蚀机采购中标公告
金额
283.1万元
项目地址
上海市
发布时间
2024/01/10
招标产品
分子泵
工艺腔
软件系统
半自动互连刻蚀机
聚焦环
水机
顶针
干泵
气路
真空计
密封圈
裁片台
射频系统
预真空传输腔
电感耦合等离子体刻蚀系统
招标公司
复旦大学
中标公司
上海玉鼎金霞科仪电子设备中心
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