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超精密真空预载气浮支承设计与优化
"超精密真空预载气浮支承设计与优化"标讯
中标
重庆理工大学亚秒级超精密圆时栅校准系统单一来源采购公示
项目地址
重庆市
发布时间
2023/05/19
招标产品
时栅校准系统
时栅位移传感技术
纳米圆时栅
角度基准装置
测角转台
超高精度回转轴系
纳米级驱动电机
超精密驱动控制
基于空间关联约束组合测量
角度标定
超精密真空预载气浮支承设计与优化
高精度零部件制造工艺及装配
纳米级压电马达驱动控制
测量转台
传感器
招标公司
重庆理工大学
中标公司
中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
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