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配置单独的干泵
"配置单独的干泵"标讯
招标
反应离子刻蚀机招标公告
项目地址
北京市
发布时间
2022/10/26
招标产品
软件
射频源
上电极
配置单独的干泵
控制系统
气路柜
反应腔室配有前级泵及涡轮分子泵
DN63观察窗
气动传送机构
下电极
真空系统
预真空室
真空法兰接口
薄膜电容真空计
反应离子刻蚀机
射频发生器
气路系统
招标公司
中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
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