金额
66万元
项目地址
福建省
发布时间
2022/01/10
招标产品
分类给排水/废液系统
下片清洗设备
厌氧烘箱
清洗腐蚀台
各槽位主要技术工艺
分析仪器
光刻匀胶台
电器控制系统
气枪
设备安全调试
FFU
具有漏电断路保护装置
冲洗
漏液托盘
更换配件
国产设备
老化抽屉式烘箱
晶圆金属剥离
排风装置
晶圆光刻胶去除
设备排风系统
电气控制部分
水枪
清洗槽
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4"晶圆的颗粒清洗
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实验设备
有机去胶设备
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金属剥离清洗机
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