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靶材原子
"靶材原子"标讯
招标
[招设2023A00205]上海交通大学多靶磁控溅射镀膜系统采购项目公开招标公告
金额
220万元
项目地址
上海市
发布时间
2023/11/27
招标产品
靶枪系统
电子
进样室
系统框架
不锈钢工艺真空腔
沉积材料
真空测量系统
控制系统
氩离子
真空泵系统
多靶磁控溅射镀膜系统
气路系统
靶材原子
多靶磁控溅射系统
镀膜工艺腔
招标公司
上海交通大学
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