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高真空蒸发镀膜自动控制系统
"高真空蒸发镀膜自动控制系统"标讯
招标
中山大学电子与信息工程学院（微电子学院）单室高真空电阻式镀膜设备采购需求公告
项目地址
广东省
发布时间
2023/02/13
招标产品
水冷膜厚探头
隔板
万向轮
地脚
手套箱
双级泵
蒸发电源
PLC控制器
电缆开关接头
小型无油静音气泵
各种无氧铜垫
基片挡板
1KW可控硅调压电源
总控制电源
样品台控制器
有机蒸发源
误操作保护
前后门各配视窗
相序检测
高真空蒸发镀膜自动控制系统
高真空自动抽气系统
真空室腔体
真空电磁充气阀
超高真空气动挡板阀
有机材料薄膜
膜厚检测系统
联动互锁
泵阀连接软管
镀膜机
基片挂架
基片升降
基片旋转
电控系统
泵阀开关
真空计
气动超高真空插板阀
膜厚仪
设备机架
风冷复合分子泵
三通
制冷水机
配气动挡板
烘烤照明电源
真空泵机组
样品台系统
金属蒸发源
温控电源
单室高真空电阻式镀膜设备
氟橡胶圈
一键真空启停
水冷铜电极
40碳钢方管焊接机架
监控仪
招标公司
中山大学
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