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高精度激光干涉台
"高精度激光干涉台"标讯
招标
上海交通大学2023年2至3月政府采购意向-电子束曝光系统详细情况
项目地址
上海市
发布时间
2023/02/21
招标产品
样品台
样品室
成像
图形发生器
系统控制软件
二次电子探测器
电子枪
高重频皮秒紫外激光器
偏转系统
背散射电子双功能探头
真空系统
仪器仪表
计算机控制系统
电子束曝光系统
电子光学系统
高精度激光干涉台
标记识别
静电束闸
招标公司
上海交通大学
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