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2020/10/27
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光学镀膜机
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等离子体刻蚀机
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磁控溅射镀膜设备
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磁控溅射镀膜设备
激光器芯片研发及产业化
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2020/10/13
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等离子体刻蚀机
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磁控溅射镀膜设备
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2020/10/13
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等离子体增强化学气相沉积设备
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2020/09/24
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金额
24.8万元
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2020/09/17
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高功率半导体泵浦激光系统
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高功率半导体激光器芯片
等离子体增强化学气相沉积设备
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