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高温电感耦合等离子体刻蚀机
"高温电感耦合等离子体刻蚀机"标讯
中标
华南理工大学微纳电子加工平台制备设备采购项目（三）（项目编号：0835-220Z11909521）中标公告
金额
2904.36万元
项目地址
广东省
发布时间
2022/12/28
招标产品
离子减薄机
MBE分子束外延
PECVD等离子体化学气相沉积系统
超高真空电子束蒸发
快速退火炉
精研一体机
微纳电子加工平台制备设备
高温电感耦合等离子体刻蚀机
磁控溅射镀膜机
扩散炉
招标公司
华南理工大学
中标公司
湖南方田医疗器械有限公司
共4家
中标
华南理工大学微纳电子加工平台制备设备采购项目（三）（项目编号：0835-220Z11909521）中标公告
金额
2904.36万元
项目地址
广东省
发布时间
2022/12/27
招标产品
微纳电子加工平台制备设备
超高真空电子束蒸发
磁控溅射镀膜机
PECVD等离子体化学气相沉积系统
高温电感耦合等离子体刻蚀机
快速退火炉
扩散炉
MBE分子束外延
离子减薄机
精研一体机
招标公司
华南理工大学
中标公司
广州市东方科苑进出口有限公司
共4家
招标
华南理工大学微纳电子加工平台制备设备采购项目（三）（项目编号：0835-220Z11909521）招标公告
项目地址
广东省
发布时间
2022/11/28
招标产品
离子减薄机
MBE分子束外延
PECVD等离子体化学气相沉积系统
超高真空电子束蒸发
监理
规范编制
快速退火炉
精研一体机
微纳电子加工平台制备设备
高温电感耦合等离子体刻蚀机
磁控溅射镀膜机
整体设计
项目管理
检测
扩散炉
招标公司
华南理工大学
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