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3个直流源
"3个直流源"标讯
中标
四靶协同磁控溅射系统(GY202402602)自购结果公示
金额
49.8万元
项目地址
山东省
发布时间
2024/07/10
招标产品
普通可旋转样品盘
反应室
不锈钢真空室
真空计探测器
全自动控制系统
四靶协同磁控溅射系统
溅射源靶枪
3个直流源
加热
采用3台质量流量控制器
靶枪带一个独立的电控气动挡板
招标公司
集成电路学院
中标公司
中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
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