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ALD控制系统
"ALD控制系统"标讯
招标
原子层沉积系统（ZBZXJJ20220874）采购公告
金额
32.5万元
项目地址
四川省
发布时间
2022/12/07
招标产品
炉膛
气路单元
全金属CF法兰密封
机械泵
原子层沉积系统
控制单元
加热单元
CF40法兰接口
控制软件
主控制器
ALD主腔体
高温炉
风冷系统
流量计
臭氧发生器
反应腔体
反应物热分解单元
测温单元
真空规
上位机
真空泵
加热模块
真空计
ALD控制系统
油泵
真空腔体
微型管式炉
KF25法兰接口
真空获得单元
高温鼓泡器
高纯多晶氧化铝纤维
招标公司
四川大学
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