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AlN薄膜沉积室
"AlN薄膜沉积室"标讯
中标
大连理工大学超高真空磁控溅射系统采购项目单一来源采购公告
项目地址
辽宁省
发布时间
2022/11/28
招标产品
电极薄膜沉积室
电子器件
6英寸样品台
工艺气体
超高真空磁控溅射系统
高精度真空规
氮化铝铁电薄膜
AlN薄膜沉积室
射频源等离子体基片清洗功能
射频电源
真空传样机械手
下电极
超高密封性
真空系统
超高真空薄膜制备
磁控靶
高可靠性器件
磁控溅射源
直流电源
招标公司
大连理工大学
中标公司
中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
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