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SiO2研磨液供液系统
"SiO2研磨液供液系统"标讯
招标
中国科学院微电子研究所12英寸晶圆化学机械抛光机改造与升级采购项目公开招标公告
项目地址
北京市
发布时间
2024/08/06
招标产品
化学品供液系统
12英寸抛光头
精密气体压力测量仪
SiO2研磨液供液系统
12英寸晶圆化学机械抛光机改造与升级
Cu研磨液供液系统
高精度压力校准仪器
招标公司
中国科学院微电子研究所
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