项目地址
北京市
发布时间
2022/11/16
招标产品
碟型腔微波等离子体沉积装置整体设计规范编制项目管理检测备品备件专用工具技术方案项目实施方案售后服务方案标准附件安装调试检验和验收技术服务培训运输费保险费环境标志产品节能产品装运标志操作手册维修指南部件机械运转试验性能试验新零件货物修补缺陷部分更换件分包微波功率源系统水冷却系统水流量控制模块气体管道EP级不锈钢气管微波源PLC及触摸屏多参数控制微波泄漏输出波导接口开关电源PLC操作系统微波窗口红外测温窗口揭盖式等离子体放电腔体微波真空放电腔系统气体质量流量计气路系统真空系统漏率铜台钼台微波传输系统调配器模式转换器微波反应腔体样品台气体流量系统过滤器气体系统连接组件真空阀门真空腔体真空管道电阻真空计薄膜真空计红外测温仪电控系统流量监控控制机箱机柜气瓶
招标公司
解决方案
联系我们
返回顶部