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RF射频源
"RF射频源"标讯
招标
深圳技术大学感应耦合等离子体刻蚀机（金属）意向公开
金额
388万元
项目地址
广东省
发布时间
2023/08/21
招标产品
刻蚀腔设备
石英托盘
样品台
Cr刻蚀
刻蚀机
刻蚀腔体
石墨托盘
Al
传送样品机械手臂
光谱式终点监测装置
ICP射频源
仪器仪表
RF射频源
Ti
压环
传输腔配干泵
气路系统
招标
深圳技术大学感应耦合等离子体刻蚀机（金属）意向公开
金额
388万元
项目地址
广东省
发布时间
2023/08/04
招标产品
刻蚀腔设备
石英托盘
样品台
Cr刻蚀
刻蚀机
刻蚀腔体
输入输出设备
石墨托盘
Al
传送样品机械手臂
光谱式终点监测装置
ICP射频源
RF射频源
Ti
传输腔配干泵
压环
气路系统
招标公司
深圳技术大学
招标
天津大学-竞价公告(CB100562023000274)
项目地址
天津市
发布时间
2023/05/31
招标产品
速谱仪器
远程rf射频源
等离子体清洗仪
等离子体清洗源
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