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RPS设备
"RPS设备"标讯
中标
集成电路科学与工程学院北航智能微纳公共创新中心5种设备机台配套工艺气体分配控制系统竞价结果公示
金额
48.89万元
发布时间
2023/11/16
招标产品
真空互联设备
控制系统
LPCVD
RPS设备
5SPTS设备
RTP设备
招标公司
集成电路科学与工程学院
中标公司
液化空气上海有限公司
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