海拓创新技术（杭州）有限公司

海拓创新公司是国内第一家实现静电卡盘及辅助执行系统国产化制造的公司，目前也是唯一家以静电卡盘技术为营收支撑生存和发展的公司。自2013年始深耕于静电卡盘技术研发和应用拓展，凭借自身的技术积累、研发、系统集成以及方案解决能力，在2015年实现了以静电卡盘为核心业务带动企业发展的模式。截止2019年，海拓创新公司已经完成了4寸至12寸半导体FAB静电卡盘交付实绩，率先实现了半导体关键零部件-静电卡盘技术卡脖子局面的零突破，尤其是在第三代化合物半导体方面，海拓创新自主设计的静电卡盘系统已实现规模化交付。海拓创新公司在再生半导体设备领域实现静电卡盘国产化二元替代，改造现有静电卡盘系统以适配第三代半导体制造的需求；海拓创新公司以丰饶行业经验和技术积累，完成了国产半导体设备商以及科研院校完成特殊工艺及条件下静电卡盘的需求，应用领域涉及等离子刻蚀、离子注入、气相沉积、纳米压印、键合及临时键合等制程。海拓创新公司位于广东省大湾区核心区域-东莞，拥有800平方万级无尘车间，拥有国内第一条静电卡盘全制程能力、标准化生产和智能检测产线。海拓创新公司不忘初心，致力于为国产半导体设备制造商和最终用户提供最佳解决静电夹持方案，成为国产半导体领域全面解决方案的战略服务商。