上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业（有限合伙）

上海集成电路装备材料产业投资基金成立于2017年，目标规模100.00亿元人民币，首期规模为50.50亿元人民币，由华芯投资管理有限责任公司、南京银行股份有限公司、国家集成电路产业投资基金股份有限公司、上海万业企业股份有限公司、上海国盛（集团）有限公司与上海临港芯成投资合伙企业（有限合伙）共同发起设立，由上海半导体装备材料产业投资管理有限公司负责管理，重点围绕集成电路装备材料产业开展投资，通过市场化运作及专业化管理，促进上海乃至全国集成电路装备材料产业的发展。