北京烁科中科信电子装备有限公司

北京烁科中科信是国内较早专注于集成电路领域离子注入机业务的高端装备供应商。北京烁科中科信产品聚焦集成电路主要应用领域，兼顾化合物半导体、材料加工制备等领域，已形成中束流、大束流、高能机、特种、化合物半导体等系列化离子注入机产品体系。CI P系列中束流离子注入机、CI C系列大束流离子注入机已有40多台进入国内最先进的极大规模集成电路生产线，12英寸晶圆量产超1500万片，量产工艺段覆盖至28nm。