申购单号：CB10001SZ2022000012成交总额：297600.0
申购主题：原子层沉积系统采购 送货时间：合同签订后150天内送达
采购单位：北京大学深圳研究生院 安装要求：免费上门安装（含材料费）
竞价开始时间：2022-11-07 16:56:17 收货地址：
竞价截至时间：2022-11-24 11:57:16
币种：人民币
付款方式：货到验收合格后付款
备注说明：
质疑说明：如果对成交结果有异议，请在发布成交结果之日起三个工作日内向采购单位提出质疑
竞价结果：
采购项：原子层沉积系统 品牌： 原速科技 型号： ExploiterE200S
成交总价：297600.00
成交供应商：苏州芬中传感技术有限公司
质保及售后服务： 按行业标准提供服务
技术参数： 1. 工作条件 1.1 电源电压：AC 380V±10%，50Hz，三相五线。 1.2 长时间连续工作（满足7×24，即每周7天、每天24小时运行）。 2. 设备基础规格 2.1 适用于8英寸、6英寸、4英寸、3英寸、2英寸及破片加工。 2.2 设备运行过程中，整机外壳温度均不高于60℃，以保证操作的安全性。 2.3.1 真空腔材质为不锈钢，腔体表面经过电解抛光处理。 2.3.2 样品台室温至500℃可控，尺寸不小于φ200mm，可放样品高度不小于10mm。 2.3.3 腔体进气方式：前驱体蒸汽通过喷淋头进入真空腔，蒸汽自上而下流经衬底。 2.3.4 腔体开关方式：可通过界面操作系统自动开关腔门，配备安全互锁检测功能，确保腔门在安全状态下开关；耐腐蚀O-ring密封。 2.3.5 腔体具备快速开关真空隔离装置，防止前驱体气体和等离子体活性自由基交叉污染，避免污染电感耦合等离子体反应装置。 2.3.6 真空腔体上方具备独立的反应气扩散区域，配备活动式结构，腔体上方所有结构可完全打开，便于清洁。 2.3.7 反应腔体内部配备可更换式内衬，维护时便于更换。 2.4.1 至少配备3路前驱体源管路：1路常温源、2路加热源（不低于150℃）；其中常温源管路需加配耐腐蚀微调阀。 2.4.2 每个前驱体源气路至少配备1个源瓶（≥250mL）和2个进口阀门。 2.4.3 阀门配备安全互锁检测功能，在真空腔门打开时处于强制关闭状态，防止前驱体暴露在空气中。 2.4.4 配备1路反应物管路，反应物包含H2O，每路反应物管路分别配备1个进口阀门，阀门最高耐温不小于150℃。 2.4.5 反应物管路需加配微调阀。 2.4.6 反应物H2O管路需配备1个经过电解抛光处理且体积不小于75mL的不锈钢源瓶。 2.4.7 前驱体管路配有载气（N2），载气管路前端需配备计量调压阀、气动阀等。 2.4.8 吹扫管路采用1个质量流量控制器和1个进口阀门（阀门最高耐温不小于150℃）用于控制惰性气体。 2.4.9 管路及接头均采用EP级电解抛光不锈钢材料，所有气体管路连接处采用金属VCR密封。 2.5 源瓶系统：室温至150℃可控，控制精度：±1℃。 2.6 加热箱：室温至150℃可控，控制精度：±1℃，要求所有管路放置在加热箱内实现一体式加热，加热箱内管路温度均匀性±5℃。 2.7 采用固态继电器用于控制加热，符合 UL、CSA、ROHS标准。 2.8 真空泵采用双级油封式旋片真空泵，抽速65m3/h，噪音不大于62dB。 2.9 真空测量：至少配备2个真空压力计，包含一个高真空压力计和一个大气真空压力计。 2.10 真空压力计采用薄膜规，要求高精度，长寿命，必须对腐蚀性介质具有极高的耐受性，可在工艺进行的同时进行压力监测，精度：±0.25%读数；响应时间：<20ms；分辨率：≤0.005%FS；符合CE，ROHS规范。 3. 设备软硬件规格 3.1 控制系统配备工控机和PLC，工控机配备SSD固态硬盘，安装正版操作系统；PLC可支持2ms扫描周期。 3.2 输入设备配备鼠标、键盘和触摸显示器，显示器尺寸不小于19inch，可360度自由旋转，可调视距、视角、自由悬停。 3.3 界面操作系统支持历史数据、报警日志的存储和导入导出功能。 3.4 界面操作系统需实时展示系统加热状态、所有阀门开关状态、腔室压力状态。 3.5 界面操作系统具备配方编辑功能，可对工艺参数沉积温度、循环次数、脉冲时间等进行编辑。 3.6 用户可设定设备及工艺运行时的报警参数，包括但不限于温度、压力、流量等。 3.7 用户可设定设备及工艺运行时的提醒参数，包括前驱体源用量追踪及提醒功能。 3.8 界面操作系统具备用户权限管理功能，可根据用户级别设定使用权限，针对操作人员分级管理。 3.9 界面操作系统支持多个配方交替运行，实现单一和多层薄膜材料的制备。 3.10 界面操作系统可自动完成Thermal-ALD和PEALD的单一或多层配方运行。 3.11 界面操作系统配备独立的维护界面，所有管路具备自动清洗功能，确保ALD阀门与真空腔之间的管路没有前驱体残留。 3.12阀门配备电磁阀，电磁阀响应时间<5ms，带过电压保护回路，带动作指示灯。 4. 工艺及服务 4.1.1 工艺验收标准：8英寸（？200mm）单晶硅片基底上沉积30nm Al2O3薄膜，薄膜的不均匀性＜2％（均匀九点）。 5. 质保期 5.1 货物免费保修期1年，时间自最终验收合格并交付使用之日起计算。保修期内，中标人对设备维修不收取任何费用，包括但不限于以下费用：零配件成本费、人工费、维修费等相关费用。保修期过后，提供有偿维修服务，仅收取零部件工本费以及差旅费。