首页
>
招投标
>
反应物管路
"反应物管路"标讯
招标
原子层沉积ALD采购需求
金额
41万元
项目地址
广东省
发布时间
2023/04/17
招标产品
固态继电器
加热箱
臭氧系统
仪器设备
氧气
SSD固态硬盘
不锈钢源瓶
计量调压阀
高真空压力计
Thermal-ALD
进口阀门
载气
加热源
气动阀门
输入设备
热阱加热器
PLC
反应物管路
臭氧发生器
界面操作系统
真空测量
PEALD
反应腔体
质量流量控制器
鼠标
原子层沉积ALD
腔体具备快速开关真空隔离装置
单晶硅片
键盘
真空泵
控制系统
大气真空压力计
惰性气体
前驱体源管路
真空腔体
工控机
触摸显示器
反应物H2O
臭氧尾气处理器
定期巡检
样品台
反应残余气
阀门配备电磁阀
前驱体源气路
吹扫
管路及接头
招标公司
北京大学深圳研究生院
中标
北京大学深圳研究生院-结果公告(CB10001SZ2022000012)
金额
29.76万元
项目地址
广东省
发布时间
2022/11/28
招标产品
脉冲时间等进行编辑
源瓶
固态继电器
加热箱
压力监测
SSD固态硬盘
不锈钢源瓶
安全互锁检测功能
导入导出
原子层沉积系统
计量调压阀
前驱体源用量追踪
可通过界面操作系统自动开关腔门
腔门在安全状态下开关
加热源
输入设备
PLC
可更换式内衬
前驱体气体
反应物管路
吹扫管路
破片加工
快速开关真空隔离装置
真空测量
反应腔体
不锈钢材料
前驱体管路
接头
质量流量控制器
鼠标
单晶硅片
键盘
耐腐蚀微调阀
真空泵
控制系统
惰性气体
前驱体源管路
真空腔体
前驱体蒸汽通过喷淋头
反应气扩散区域
控制加热
工控机
触摸显示器
配方编辑功能
气动阀
样品台
前驱体源气路
载气管路
真空压力计
O-ring密封
常温源管路
安装正版操作系统
气体管路
反应物H2O管路
招标公司
北京大学深圳研究生院
中标公司
苏州芬中传感技术有限公司
中标
原子层沉积设备
金额
39.9万元
项目地址
陕西省
发布时间
2020/11/21
招标产品
管路系统
固态继电器
真空获取
加热箱
加热系统
进口PLC
不锈钢源瓶
SSD固态硬盘
计量调压阀
高真空压力计
真空腔
吹扫气路
反应物管路
管路热电偶
薄膜材料
真空测量
高精度进口质量流量控制器
前驱体管路
管路清洗
升温
接头
动作指示灯
腔体四周及上下盖板具备加热保温功能
原子层沉积设备
薄膜压力规
单晶硅片
高温手动阀
薄膜沉积
真空泵
进口气动阀
金属VCR密封
大气真空压力计
降温
带过电压保护回路
EP级电解抛光不锈钢材料
配方交替运行
工控机
载气管路
气体管路
电磁阀
招标公司
西安交通大学
中标公司
深圳市原速光电科技有限公司
返回顶部
