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腔门在安全状态下开关
"腔门在安全状态下开关"标讯
中标
北京大学深圳研究生院-结果公告(CB10001SZ2022000012)
金额
29.76万元
项目地址
广东省
发布时间
2022/11/28
招标产品
脉冲时间等进行编辑
源瓶
固态继电器
加热箱
压力监测
SSD固态硬盘
不锈钢源瓶
安全互锁检测功能
导入导出
原子层沉积系统
计量调压阀
前驱体源用量追踪
可通过界面操作系统自动开关腔门
腔门在安全状态下开关
加热源
输入设备
PLC
可更换式内衬
前驱体气体
反应物管路
吹扫管路
破片加工
快速开关真空隔离装置
真空测量
反应腔体
不锈钢材料
前驱体管路
接头
质量流量控制器
鼠标
单晶硅片
键盘
耐腐蚀微调阀
真空泵
控制系统
惰性气体
前驱体源管路
真空腔体
前驱体蒸汽通过喷淋头
反应气扩散区域
控制加热
工控机
触摸显示器
配方编辑功能
气动阀
样品台
前驱体源气路
载气管路
真空压力计
O-ring密封
常温源管路
安装正版操作系统
气体管路
反应物H2O管路
招标公司
北京大学深圳研究生院
中标公司
苏州芬中传感技术有限公司
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