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腔体具备快速开关真空隔离装置
"腔体具备快速开关真空隔离装置"标讯
招标
原子层沉积ALD采购需求
金额
41万元
项目地址
广东省
发布时间
2023/04/17
招标产品
固态继电器
加热箱
臭氧系统
仪器设备
氧气
SSD固态硬盘
不锈钢源瓶
计量调压阀
高真空压力计
Thermal-ALD
进口阀门
载气
加热源
气动阀门
输入设备
热阱加热器
PLC
反应物管路
臭氧发生器
界面操作系统
真空测量
PEALD
反应腔体
质量流量控制器
鼠标
原子层沉积ALD
腔体具备快速开关真空隔离装置
单晶硅片
键盘
真空泵
控制系统
大气真空压力计
惰性气体
前驱体源管路
真空腔体
工控机
触摸显示器
反应物H2O
臭氧尾气处理器
定期巡检
样品台
反应残余气
阀门配备电磁阀
前驱体源气路
吹扫
管路及接头
招标公司
北京大学深圳研究生院
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