CB105322020000061

2020-06-11 15:53:48

2020-06-15 16:03:26

人民币

签订合同后40个工作日内

免费上门安装（含材料费）

详情见备注

国产设备：1.货到合同指定地点并安装调试验收合格后，凭验收报告在10个工作日内支付合同总金额的（100）%。2.供应商在申请验收前，须先把合同质保金（5）%交到采购人指定账户，并开具合同金额100%发票；3.在验收合格之日起的（一）年后无质量问题，经采购人认可，一次性将合同质保金无息退还供应商。

如果对成交结果有异议，请在发布成交结果之日起三个工作日内向采购单位提出质疑

沈阳鹏程真空

193000.00

一、系统的主要组成及技术指标 溅射室极限真空度：≤8x10-5Pa（经烘烤除气后）； 系统真空检漏漏率：≤5.0x10-7Pa.l/S； 系统从大气开始抽气：溅射室30分钟可达到7x10-4 Pa； 系统停泵关机12小时后真空度：≤5Pa； 1 、溅射真空室 1套 真空室为D形前开门结构，尺寸Ф280mmx300mm，全不锈钢结构。可内烘烤到100～150℃，氩弧焊接，表面进行电化学抛光钝化处理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封；腔体打开方式采用上顶开，使得换靶更加容易。 真空室组件上焊有各种规格的法兰接口如下： 1.1、 RF100法兰接口：1个（观察窗口）； 1.2、CF16法兰接口：2个（1路进气管路、放气阀）； 1.3、CF150法兰接口：1个（接分子泵）； 1.4、RF300法兰接口：1个（用来安装磁控靶和靶挡板） 1.5、样品台法兰接口：1个（用来安装样品台） 1.6、CF25法兰接口：1个； 2 、磁控溅射系统（2套） 2.1 、靶材尺寸：Ф50mm； 2.2 、提供靶材：（Ti、不锈钢）测试靶材2块 2.3 、永磁靶（其中一个可溅射磁性材料），射频溅射与直流溅射兼容，靶内水冷； 2.4 、进口SMC旋转气动控制挡板组件：2套； 2.5 、靶在上，向下溅射，共焦磁控溅射靶（溅射靶角度可调），分布在一个圆周上，各靶可独立/顺次/共同工作； 2.6 、500直流脉冲电源1台（中山昊源）； 2.7 、500w全自动调谐射频电源1台（数字式通讯全自动匹配）（中山酷美） 2.8 、磁控靶与基片的距离可调，调节距离为：60~110mm。 3 、旋转转基片台 1套 3. ；样品可定位自传。也可实现双靶共溅射。 3.2、基片通过进口加热丝加热方式，加热温度：室温—600°C（抗氧化），由热电偶闭环反馈控制，可控可调； 3.3、基片自转由调速电机驱动，0—30转/分连续可调，转动速度 3.4、进口SMC转角气缸样品挡板组件 1套 4 、窗口及法兰接口部件 1套 4.1、CF100玻璃窗口：1块 ； 4.2、CF35陶瓷封接引线法兰：2个（照明及内烘烤引线）； 4.3、盲法兰：CF16：1个；CF35：2个。 5 、加热装置 1套 加热装置在真空室上法兰上，对基片托板进行加热，通过热电偶控制控温电源实现闭环控制，系统由加热器和1个加热控温电源组成，加热电源配备日本进口控温表，控温方式为PID自动控温及数字显示；样品加热温度：室温～600°C，连续可调； 6、 工作气路 1套 6.1、氩100SCCM、氧50SCCM、氮50SCCM质量流量控制器（美国TYLANFC-2900）、CF16电动截止阀、管路、接头等：共3路 6.2 DN16气动充气阀、DN16气动放气阀、管路、接头等：4路（国产）； 7、抽气机组及阀门、管道 1套 7.1、复合分子泵及变频控制电源：1台（FF100/300 300l/s 北京KYKY）； 7.2、机械泵：VRD-16,4L/S 1台（浙江飞越）； 7.3、DN40电动截止阀：1台（北京川北）； 7.4、 机械泵与真空室之间的旁抽管路：1套； 7.5、 CC100电动闸板阀：1台（北京KYKY、用于复合分子泵与真空室隔离）； 7.6、 节流阀：1台（亚德客气缸） 7.7、 DN40旁抽角阀：1台（北京东易达） 7.8、 压差式充气阀：1台（上海西玛特） 8、安装机台架组件 1套 优质冷轧板折弯焊接成型，快卸围板表面喷塑处理；机台内嵌电控柜；四只脚轮，可固定，可移动。790mmX780mmX750mm（泵组专用） 9、真空测量 1套 溅射室采用国产睿宝全量程复合规进行测量。 10、系统采用PLC+嵌入一体式触摸屏工控机实现全自闭后环动控制方式 10.1、系统设有自动镀膜模式： 可实现自动抽空到达工作真空度后，手动进行镀膜参数设置，实验结束后一键自动充气，整体节省操作时间。此时系统处于开环控制状态。 10.2、系统提供计算机实时通讯，显示记录真空度以及加热温度PID调节设定。 10.3、系统提供计算机实时通讯，设定显示直流电源、射频电源功率参数调整，气体流量控制调节，制定工艺菜单及自动记录设定各项工艺参数存储。 10.4、系统提供计算机MFC的工艺气体稳压控制调节。 10.5、计算机设定显示挡板状态，样品转速等 11、 膜厚仪（TDM-108沈阳赛恩斯）单路水冷探头 1套 11.1监测膜厚显示范围：0~99μ9999 ？； 11.2厚度分辨率：1 ？； 11.3速率显示分辨率：0~9999.9 ？； 11.4 控制精度：1 ？； 11.5监测时间显示范围：1分~99小时； 12、水冷循环机: 0.5P 1台 13、静音气泵 :500W 1台 14、备品备件 1套 相应厂内规格：1套；

1.0

VCT300

沈阳鹏程真空技术有限责任公司