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样品台法兰接口
"样品台法兰接口"标讯
中标
东南大学-结果公告(CB102862022002151)
金额
15.8万元
项目地址
江苏省
发布时间
2022/11/16
招标产品
复合分子泵
测试靶材
机械泵
水冷循环机
阀门
基片
压差式充气阀
真空室组件
共焦磁控溅射靶
工作气路
CF150法兰接口
安装机台架组件
CF25法兰接口
全自动三靶磁控溅射仪
1000w脉冲直流偏压电源
气动充气阀
500W直流脉冲电源
法兰接口部件
真空测量
磁控靶
加热装置
静音气泵
接头
RF100法兰接口
进口SMC旋转气动控制挡板组件
变频控制电源
样品台法兰接口
旁抽角阀
备品备件
抽气机组
旁抽管路
氩100SCCM质量流量控制器
DN16气动放气阀
磁控溅射系统
玻璃窗口
照明及内烘烤引线
管道
电动闸板阀
CF16法兰接口
RF300法兰接口
永磁靶
机台内嵌电控柜
盲法兰
电动截止阀
招标公司
东南大学
中标公司
沈阳鹏程真空技术有限责任公司
中标
四工位有机,无机材料高真空蒸发镀膜设备
金额
18.8万元
项目地址
湖南省
发布时间
2021/08/17
招标产品
不锈钢蒸发基片托
照明电源
机械泵
易损件的更换
双通道
金属波纹软连接前极管道
样品沉积升降转台机构
各部组件
断水保护
恒温循环水箱
样品挡板
真空测量
有机蒸发源及控制电源系统
衬底加热电源
自制循环水分水系统
设备的一般故障进行诊断
分子泵
真空规
样品台法兰接口
电控系统
水冷石英晶体探头
控制系统
无机蒸发沉积室组件
真空计
总控电源
真空腔体
膜厚仪
水冷探头法兰
高真空蒸发镀膜设备
无机材料
电离规
特殊连接组件
真空室
蒸发舟
触控面板
控制电源
设备能够进行日常的维护和保养
真空系统
钨丝蓝舟
整套系统的操作规程
有机材料蒸发电源
升降电源
无机蒸发源
电阻规
电磁阀
招标公司
中南大学
中标公司
沈阳昊通科技有限公司
中标
VCT300全自动磁控溅射镀膜仪
金额
19.3万元
项目地址
湖南省
发布时间
2020/06/16
招标产品
全自动磁控溅射镀膜仪
真空室组件
RF100法兰接口
CF16法兰接口
CF150法兰接口
RF300法兰接口
样品台法兰接口
CF25法兰接口
磁控溅射系统
测试靶材
永磁靶
进口SMC旋转气动控制挡板组件
共焦磁控溅射靶
500直流脉冲电源
500w全自动调谐射频电源
旋转转基片
进口SMC转角气缸样品挡板组件
窗口及法兰接口部件
玻璃窗口
盲法兰
加热装置
工作气路
质量流量控制器
旁抽管路
接头
2DN16气动充气阀
DN16气动放气阀
抽气机组
管道
复合分子泵
变频控制电源
机械泵
DN40电动截止阀
CC100电动闸板阀
节流阀
旁抽角阀
压差式充气阀
安装机台架组件
机台内嵌电控柜
真空测量
膜厚仪
水冷探头
水冷循环机
静音气泵
备品备件
招标公司
湖南大学
中标公司
沈阳鹏程真空技术有限责任公司
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