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氩100SCCM质量流量控制器
"氩100SCCM质量流量控制器"标讯
中标
东南大学-结果公告(CB102862022002151)
金额
15.8万元
项目地址
江苏省
发布时间
2022/11/16
招标产品
复合分子泵
测试靶材
机械泵
水冷循环机
阀门
基片
压差式充气阀
真空室组件
共焦磁控溅射靶
工作气路
CF150法兰接口
安装机台架组件
CF25法兰接口
全自动三靶磁控溅射仪
1000w脉冲直流偏压电源
气动充气阀
500W直流脉冲电源
法兰接口部件
真空测量
磁控靶
加热装置
静音气泵
接头
RF100法兰接口
进口SMC旋转气动控制挡板组件
变频控制电源
样品台法兰接口
旁抽角阀
备品备件
抽气机组
旁抽管路
氩100SCCM质量流量控制器
DN16气动放气阀
磁控溅射系统
玻璃窗口
照明及内烘烤引线
管道
电动闸板阀
CF16法兰接口
RF300法兰接口
永磁靶
机台内嵌电控柜
盲法兰
电动截止阀
招标公司
东南大学
中标公司
沈阳鹏程真空技术有限责任公司
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