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旋转转基片
"旋转转基片"标讯
招标
华北电力大学高真空磁控溅射镀膜机公开招标公告
项目地址
北京市
发布时间
2023/10/23
招标产品
安装机台架
窗口及法兰接口部件
磁控溅射系统
高真空磁控溅射镀膜机
工作气路
管道
样品表面检验系统
冷却水循环机
样品表面处理系统
备品备件
旋转转基片
抽气机组
溅射真空室
真空测量
阀门
加热装置
静音气泵
样品清洗系统
招标公司
华北电力大学
中标
VCT300全自动磁控溅射镀膜仪
金额
19.3万元
项目地址
湖南省
发布时间
2020/06/16
招标产品
全自动磁控溅射镀膜仪
真空室组件
RF100法兰接口
CF16法兰接口
CF150法兰接口
RF300法兰接口
样品台法兰接口
CF25法兰接口
磁控溅射系统
测试靶材
永磁靶
进口SMC旋转气动控制挡板组件
共焦磁控溅射靶
500直流脉冲电源
500w全自动调谐射频电源
旋转转基片
进口SMC转角气缸样品挡板组件
窗口及法兰接口部件
玻璃窗口
盲法兰
加热装置
工作气路
质量流量控制器
旁抽管路
接头
2DN16气动充气阀
DN16气动放气阀
抽气机组
管道
复合分子泵
变频控制电源
机械泵
DN40电动截止阀
CC100电动闸板阀
节流阀
旁抽角阀
压差式充气阀
安装机台架组件
机台内嵌电控柜
真空测量
膜厚仪
水冷探头
水冷循环机
静音气泵
备品备件
招标公司
湖南大学
中标公司
沈阳鹏程真空技术有限责任公司
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