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样品沉积升降转台机构
"样品沉积升降转台机构"标讯
中标
四工位有机,无机材料高真空蒸发镀膜设备
金额
18.8万元
项目地址
湖南省
发布时间
2021/08/17
招标产品
不锈钢蒸发基片托
照明电源
机械泵
易损件的更换
双通道
金属波纹软连接前极管道
样品沉积升降转台机构
各部组件
断水保护
恒温循环水箱
样品挡板
真空测量
有机蒸发源及控制电源系统
衬底加热电源
自制循环水分水系统
设备的一般故障进行诊断
分子泵
真空规
样品台法兰接口
电控系统
水冷石英晶体探头
控制系统
无机蒸发沉积室组件
真空计
总控电源
真空腔体
膜厚仪
水冷探头法兰
高真空蒸发镀膜设备
无机材料
电离规
特殊连接组件
真空室
蒸发舟
触控面板
控制电源
设备能够进行日常的维护和保养
真空系统
钨丝蓝舟
整套系统的操作规程
有机材料蒸发电源
升降电源
无机蒸发源
电阻规
电磁阀
招标公司
中南大学
中标公司
沈阳昊通科技有限公司
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