中标
中国科学院上海硅酸盐研究所特种磁控溅射镀膜系统国际招标中标公告
金额
447.06万元
项目地址
上海市
发布时间
2022/07/12
公告摘要
项目编号0834-2241sh22a155
预算金额450万元
招标公司中国科学院上海硅酸盐研究所
招标联系人全老师
招标代理机构上海中招招标有限公司
代理联系人姚庆忠13916084195
中标公司重庆跳望科技有限公司
中标联系人姚庆忠
中标公司重庆眺望科技有限公司447.06万元
中标联系人-
公告正文
中国科学院上海硅酸盐研究所特种磁控溅射镀膜系统国际招标中标公告
一、项目编号：0834-2241SH22A155（招标文件编号：0834-2241SH22A155）
二、项目名称：特种磁控溅射镀膜系统
三、中标（成交）信息
供应商名称：重庆眺望科技有限公司
供应商地址：重庆市渝北区龙溪街道红金路55号1幢12-7
中标（成交）金额：447.0647260（万元）
四、主要标的信息
| 序号 | 供应商名称 | 货物名称 | 货物品牌 | 货物型号 | 货物数量 | 货物单价（元） |
| 1 | 重庆眺望科技有限公司 | 特种磁控溅射镀膜系统 | AJA International, Inc./美国 | ORION-8;ATC-1800-E | 1套 | USD665,800.00 |
五、评审专家（单一来源采购人员）名单：
邹跃、吴玉林、贺平、刘海杜、吴相伟
六、代理服务收费标准及金额：
本项目代理费收费标准：100*1.5%+347.0647260*1.1%
本项目代理费总金额：5.3177000 万元（人民币）
七、公告期限
自本公告发布之日起1个工作日。
八、其它补充事宜
1、本项目为机电产品国际招标项目，相关法规与政策均按照《机电产品国际招标投标实施办法（试行）》执行。
2、中标供应商的投标货币为美元，中标金额为66.58万美元。在本公告中第三项中相关报价的币种为人民币，汇率采用开标当日中国银行首次公布的外币现汇卖出价（100美元=671.47人民币）进行折算。
3、本项目的评标结果公示公告和中标结果公告已在中国国际招标网（网址为：http://chinabidding.mofcom.gov.cn ）和机电产品招标投标电子交易平台（网址为：http://www.chinabidding.com）进行公告，截至本项目评标结果公示截止日期，无投标人或其他利害关系人对该评标结果提出异议。
九、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息
名 称：中国科学院上海硅酸盐研究所
地址：上海长宁区定西路1295号
联系方式：全老师，电话：021-69906570
2.采购代理机构信息
名 称：上海中招招标有限公司
地 址：上海市共和新路1301号C座110室
联系方式：姚庆忠、沈思远，电话：13916084195/86-21-26065279/26065290，邮箱：ssy_111@126.com,yaoqz510@163.com
3.项目联系方式
项目联系人：姚庆忠，沈思远
电 话： 021-26065279、021-26065290
特种磁控溅射镀膜系统－中标结果公告
送
项目名称：特种磁控溅射镀膜系统必联网
项目编号：0834-2241SH22A155
招标范围：特种磁控溅射镀膜系统1套
招标机构：上海中招招标有限公司
招标人：中国科学院上海硅酸盐研究所
开标时间：2022-07-0809:30
公示时间：2022-07-0822:19－2022-07-1123:59
中标结果公告时间：2022-07-1214:06
中标人：重庆跳望科技有限公司
制造商：AJAInternational，Inc.
联联网
制造商国家或地区：美国
姚庆忠
招标人或其招标代理机构主要负责人（项目负责人）（签名）
有限
招招标
招标人或其招标代理机构：（盖章）
可
公告签章
必联网必联网
必联网必联网必联网
必联网必联网必联网
特种磁控溅射镀膜系统－评标结果公示公告
网
联网
项目名称：特种磁控溅射镀膜系统必联网
招标项目编号：0834-2241SH22A155
招标范围：特种磁控溅射镀膜系统1套
招标机构：上海中招招标有限公司
招标人：中国科学院上海硅酸盐研究所
开标时间：2022-07-0809:30
公示开始时间：2022-07-0822:19
评标公示截止时间：2022-07-1123:59
中标候选人名单：
必联网
| 候选人排名 | 投标商名称 | 制造商 | 制造商国别及地区 |
| 1 | 重庆跳望科技有限公司 | AJAInternational,Inc. | 美国 |
| 2 | 重庆德咏盛科技有限公司 | T-MVacuumProducts,Inc. | 美国 |
联网
姚庆忠
招标人或其招标代理机构主要负责人（项目负责人）（签名）
有限
招招标
中
招标人或其招标代理机构：（盖章）
公告签章
必联网必联网
必联网必联网必联网
机电产品国际招标
，招标文件，
ThebiddingdocumentsforICBof
Mechanic&ElectronicProducts
（第二册）
（VolumeTwo）
招标编号/Tendernumber:0834-2241SH22A155
MagnetronSputteringSystemforSpecialUse
货物名称：特种磁控溅射镀膜系统/
招标人名称：中国科学院上海硅酸盐研究所
Tender:ShanghaiInstituteofCeramics,ChineseAcademyofSciences
招标机构：上海中招招标有限公司
TenderingAgent:ShanghaiCNTCTenderingCo.,Ltd.
2022年06月17日
第五章投标邀请
Section5.InvitationforBids
日期/Date:：2022-06-17
上海中招招标有限公司（以下简称：招标机构）受中国科学院上海硅酸盐研究所（以下简称：
招标人）委托，对下述货物和服务进行国际公开竞争性招标，我们竭诚欢迎合格投标人参加投标。
/ShanghaiCNTCTenderingCo.,Ltd.（hereinaftercalled”theTenderingAgent”）,authorizedandon
behalfofShanghaiInstituteofCeramics,ChineseAcademyofSciences.（hereinaftercalled“the
Tenderee”）,Wecordiallywelcomeeligiblebiddersforthesupplyoffollowinggoodsandservicebywayof
InternationalCompetitiveBidding.
1、招标条件/BiddingConditions
项目概况/ProjectOverview：科学研究/scientificresearch。
现招标人资金已到位，具备了招标条件。/NowFundshavebeenputinplace,theProjectiswiththe
biddingconditions.
2、招标内容
招标编号/BidNo.：0834-2241SH22A155
招标货物名称：特种磁控溅射镀膜系统/MagnetronSputteringSystemforSpecialUse1套
项目实施地点：买方现场江苏省太仓市良辅路6号
招标产品清单/ListofProducts:
| 序号/No. | 货物名称/Nameofthegoods | 数量/Quantity | 简要技术规格/MainTechnicalData | 交货期/Deliveryschedule |
| 1 | 特种磁控溅射镀膜系统/MagnetronSputteringSystemforSpecialUse | 1套/1set | 详见第八章/SeeSection8 | 收到首付款10个月/ |
3、*投标人资格要求/QualificationRequirementsForBidder：
1）如果投标人所投的货物不是投标人自己制造的，投标人应得到制造商同意其在本次投标中提供
该货物的正式授权书；
1）inthecaseofaBidderofferingtosupplygoodsunderthecontractwhichtheBidderdoes
notmanufactureorotherwiseproduce,theBidderhasbeendulyauthorizedbythegoods’
manufacturerorproducertosupplythegoodsinthisbiddingproject;
2）投标人开户银行在开标日前三个月内开具的资信证明原件或复印件。
2）Biddershallprovidethebankreferenceletterissuedwithinthreemonthspriortothetime
ofbidopeninginoriginaloritscopy。
3）业绩：提供近2年至少2台套同型号产品的销售业绩；
3）Performance:Providesalesperformanceofatleast2setsofproductsofthesamemodelin
recent2years.
4、本次招标不接受联合体投标。/JointBidsNOTAvailable.
5、招标文件的获取/AcquisitionofBiddingDocumen
招标文件购买时间：2022年06月17日至2022年06月24日，每天（节假日除外）9时
至11时30分，13时30分至16时（北京时间）
/TimeofSellingBiddingDocuments：from2022-06-17to2022-06-24,thedeadlineatworkingtime
9:00-11:30,13:30-16:00（BeijingTime）.
招标文件发售地点：上海市共和新路1301号C座110室
/PlaceofSellingBiddingDocuments:C110room,No.1301GonghexinRoad,Shanghai
招标文件网上购买：有意向的投标人将附件中的报名表发至
ssy_111@126.com,yaoqz510@163.com邮箱，并将标书款汇至招标公司账上。
招标文件售价：500元人民币，或100美元，售后不退。
/PriceofBiddingDocuments:RMB500,orUSD100foreachset.
6、投标文件的递交/BidSubmission
投标截止时间/开标时间：2022年07月08日09时30分（北京时间）
/DeadlineforSubmittingBids/TimeofBidOpening：2022-07-08，09:30（BeijingTime）
投标文件送达地点：上海市共和新路1301号C座111会议室
/PaceofBid:C111Room,No.1301GonghexinRoad,Shanghai
开标地点：上海市共和新路1301号C座111会议室
/PaceofBid:C111Room,No.1301GonghexinRoad,Shanghai
投标截止时间（开标时间）：2022-07-0809:30
7、联系方式/ContactDetails
招标人名称：中国科学院上海硅酸盐研究所
/NameofTenderee：ShanghaiInstituteofCeramics,ChineseAcademyofSciences.
招标人地址：上海长宁区定西路1295号。
/Address：No.1295,DingxiRd,ChangningDistrictShanghai,China
联系人/ContactingPersons：/全慧娟/QuanHuijuan
电话/TelNo.：86-21-69906570
招标机构名称：上海中招招标有限公司
/NameoftheTenderingAgent：ShanghaiCNTCTenderingCo.,Ltd.
地址：上海市共和新路1301号C座110室
/Address：110room,No.1301GonghexinRoad,Shanghai
邮政编码/Postcode：200070
联系人：姚庆忠、沈思远
/ContactingPersons:YaoQingzhong/ShenSiyuan
电话/TelNo.：13916084195/86-21-26065279/26065290
传真/FaxNo.：86-21-26065278
电子信箱/E-mailAdd.:ssy_111@126.com,yaoqz510@163.com
8、汇款方式/RemittanceApproach
人民币账户：
开户名称：上海中招招标有限公司
/NameoftheTenderingAgent：ShanghaiCNTCTenderingCo.,Ltd.
开户银行（人民币）：中国民生银行上海分行虹桥支行
AccountBank（RMB）：ChinaMinshengBankingCorp.,Ltd.ShanghaiBranchHongqiaoSub-branch
帐号（人民币）/AccountNO.（RMB）：0208014210004789
美元帐号：
开户名称：上海中招招标有限公司
/NameoftheTenderingAgent：ShanghaiCNTCTenderingCo.,Ltd.
开户银行（美元）：中国民生银行上海分行虹桥支行
AccountBank（USD）：ChinaMinshengBankingCorp.,Ltd.ShanghaiBranchHongqiaoSub-branch
帐号（美元）/AccountNO.（USD）：0208144210000137
SwiftBIC:MSBCCNBJ002
如果标书费和保证金采用电汇方式，请务必注明本项目的招标编号：0834-2241SH22A155
***投标人应当于招标文件载明的投标截止时间前在中国国际招标网（以下简称“招标网”，网址：
http://www.chinabidding.com）成功注册。否则，投标人将不能进入招标程序，由此产生的后果由
其自行承担。
ThebiddershallbesuccessfullyregisteredintheChinainternationalbiddingnetwork（hereinafterreferred
toasthe"tenderwebsite",website:http://www.chinabidding.com）beforethedeadlineofthebid
documentsspecifiedinthebiddingdocuments.Otherwise,thebidderwillnotbeabletoenterthebidding
process,andtheconsequentconsequenceswillbebornebythebidder.
第六章投标资料表
Section6．BidDataSheet
本章关于要采购的货物的具体资料是对“第一章投标人须知”的具体补充或修改，如有矛盾应以
本投标资料表为准。
/Specificinformationinthissectionforgoodstobeprocuredcomplementsormodifiesthe
InstructionstoBiddersinSection1.Incaseofcontradictions,thisBidDataSheetshallgovern.
| 条款号 | 内容 |
| 1.2 | 招标人名称：中国科学院上海硅酸盐研究所/NameofTenderee：ShanghaiInstituteofCeramics,ChineseAcademyofSciences.招标人地址：上海长宁区定西路1295号/Address：No.1295,DingxiRd,ChangningDistrictShanghai,China联系人/ContactingPersons：/全慧娟/QuanHuijuan电话/TelNo.：86-21-69906570电子信箱/E-mailAdd.:ssy_111@126.com,yaoqz510@163.com招标机构名称：上海中招招标有限公司/NameoftheTenderingAgent：ShanghaiCNTCTenderingCo.,Ltd.招标机构地址：上海市共和新路1301号C座110室/Address：110room,No.1301GonghexinRoad,Shanghai邮政编码/Postcode：200070联系人/ContactingPersons：/姚庆忠,沈思远/YaoQingzhong,ShenSiyuan电话/TelNo.：13916084195/86-21-26065279/26065290传真/FaxNo.：86-21-26065278电子信箱/E-mailAdd.:ssy_111@126.com,yaoqz510@163.com |
| 1.3 | 项目概况：科学研究。/ProjectOverview：scientificresearch. |
| 资金性质/Funds：财政资金/GovernmentFunds； | |
| 6.1 | 潜在投标人对招标文件如需要求澄清，请在2022年06月27日12时前以书面形式一次性发给招标机构，传真至：021-26065278，并发E-mail（Word版）至：yaoqz510@163.com,1098082323@qq.comTheBidderrequiringanyclarificationofthebiddingdocumentsmaynotifytheTenderingAgentbefore2022-06-27，12:00，FaxNo.：021-26065278；E-mail（Word）：ssy_111@126.com,yaoqz510@163.com |
| 8.1 | 投标语言：中文和/或英文/LanguageofBid:Chineseand/orEnglish |
| *10.3 | 本项目只允许投标人提供一个投标方案，否则，其投标将被否决。/Thisprojectisonlyallowedthebiddertoprovidedabidproposal,otherwise,thebidwillberejected. |
| 11.2 | 本次招标允许的缺漏项比重为投标总价的5%。如有缺漏项，以其它有效标中该项的最高价为计算依据。/Theproportionofmissingitemsallowedis5%ofthetotalbidprice.Ifanymissing,thehighestpriceofthesameiteminothereffectivetenderswillbecalculatedonthebasis. |
| *11.4 | 本次招标不接受选择性报价。/Alternativebidisnotpermitted.本次招标不接受附加条件的报价。/Bidpricewithadditionalconditionwillnotbeaccepted. |
| 11.5 | 本次招标设最高投标限价（预算金额）:450万元人民币/Thistendersetamaximumbidlimit:RMB4,500,000.00注、以开标当日中国银行总行首次发布的外币对人民币的现汇卖出价进行投标货币对人民币的转换。 |
| 11.6.1 | 从中华人民共和国关境内提供的货物/forgoodsofferedwithincustomsterritoryofPRC：1）关境内制造的货物/formanufacturedGoodsofthecustomsterritoryofPRC①出厂价（包括主机和标准附件及质保期内的备品备件价格）/EXW（IncludingthecostoftheBasicMachineandStandardAccessories,sparepartsduringthewarrantyperiod.）②提供货物运至最终目的地的关境内运输、保险和伴随货物交运的有关费用；请单独报价并计入投标总价；/TheBiddershallprovidethepriceofinlandtransportation,insurance,andotherlocalcostsincidentaltodeliveryofthegoodstotheirfinaldestination.ThispriceshallbeincludedintheTotalBidPrice. |
| ③其他伴随服务费用：包括专用工具费、培训费、技术服务费及其他与执行本合同相关的伴随服务费。/Thepriceofotherincidentalservices:includingthecostofcostofspecialtools,costoftraining,costoftechnicalservice;othercostsofincidentalservicesrelatedtoimplementthecontract.2）投标截止时间前已经进口的货物/Thegoodshasbeenimportedbeforethedeadlineforsubmissionofbids①仓库交货价（包括主机和标准附件及质保期内的备品备件价格）/EX-Warehouse（IncludingthecostoftheBasicMachineandStandardAccessories,sparepartsduringthewarrantyperiod.）②提供货物运至最终目的地的关境内运输、保险和伴随货物交运的有关费用；请单独报价并计入投标总价；/TheBiddershallprovidethepriceofinlandtransportation,insurance,andotherlocalcostsincidentaltodeliveryofthegoodstotheirfinaldestination.ThispriceshallbeincludedintheTotalBidPrice.③其他伴随服务费用：包括专用工具费、培训费、技术服务费及其他与执行本合同相关的伴随服务费。/Thepriceofotherincidentalservices:includingthecostofcostofspecialtools,costoftraining,costoftechnicalservice;othercostsofincidentalservicesrelatedtoimplementthecontract. | |
| *11.6.2 | 从中华人民共和国关境外提供的货物/forgoodsofferedfromabroad：1）CIP用户指定地点（买方现场江苏省太仓市良辅路6号）2）其他伴随服务费用：包括专用工具费、培训费、技术服务费及其他与执行本合同相关的伴随服务费。/Thepriceofotherincidentalservices:includingthecostofcostofspecialtools,costoftraining,costoftechnicalservice;othercostsofincidentalservicesrelatedtoimplementthecontract. |
| *12.1 | 投标货币（从中华人民共和国关境内提供的货物和服务）：人民币/BidCurrencies（forgoodsandservicesfromwithinPRC）：RMB |
| *12.2 | 投标货币（从中华人民共和国关境外提供的货物和服务）：美元或其他国际通用货币/BidCurrencies（forgoodsandservicesfromabroad）：USDorotherinternationalcirculationcurrencies |
| *13.1 | 本次招标不允许联合体投标。/JointBidsNOTAvailable. |
| *13.3 | 投标人资格标准：/Standardofbidderqualification:1）如果投标人所投的货物不是投标人自己制造的，投标人应得到制造商的同意其在本次投标中提供该货物的正式授权书；1）Ifthegoodsofbiddersforthebidderdidn'tmade,thebiddershallbethemanufactureroritsdomesticdistributoragreestoitsofficialauthorizationinthisbidtoprovidethegoods;2）投标人开户银行在开标日前三个月内开具的资信证明原件或复印件；2）Biddershallprovidethebankreferenceletterissuedwithinthreemonthspriortothetimeofbidopeninginoriginaloritscopy;3）业绩：提供近2年至少2台套同型号产品的销售业绩；3）Performance:Providesalesperformanceofatleast2setsofproductsofthesamemodelinrecent2years. |
| 14.3 | 2）货物从招标人验收后开始使用至质保期结束内正常、连续地使用所必须的备件和专用工具清单，包括备件和专用工具的货源及现行价格；/alist,givingfullparticulars,includingavailablesourcesandcurrentpricesofspareparts,specialtools,etc.,necessaryfortheproperandcontinuingfunctioningofthegoodsforthewarrantyperiod,followingcommencementoftheuseofthegoodsbytheTenderee;4）技术支持资料的其他形式：制造商网站最新发布的资料打印件或。/OtherFormofthesupportingtechnicalinformation：DataprintoutslatestreleasedbytheManufacturer'swebsite.or. |
| *15.1 | 投标保证金金额/BidSecurity：人民币60000元或美元9000。/RMB60,000.00orUSD9,000.00. |
| *15.3 | 投标保证金货币、形式和有效期/Formandvalidityofthebid：（1）投标保证金可用投标货币或人民币。/TheBidSecurityshallbedenominatedinthecurrencyofthebidorinRMB.（2）可以采用银行保函、现金、支票、银行汇票、银行本票、贷记凭证、电汇或网上 |
| 支付形式中的任何一种，但不接受承兑汇票。境内投标人如以现金、支票、银行汇票、银行本票、贷记凭证、电汇或网上支付形式提交的，应当从投标人的基本账户转出。投标人需在投标文件中提供基本账户的开户许可证复印件并加盖公章。Abankguarantee,cash,check,bankdrafts,cashier'scheck,certificateofcredit,wiretransfers,oronlinepaymentform;Butdoesnotaccepttheacceptances.TheBidderwithinPRCsubmittedintheformofcash,check,bankdrafts,cashier'scheck,certificateofcredit,wiretransfers,oronlinepayment;shouldbetransferredfromthebasicaccountoftheBidder.TheBidderneedstoprovidethebasicaccountopeningpermitacopyofthetenderdocumentsandofficialseal.（3）投标保证金的有效期与投标有效期一致。/ThevalidityoftheBidSecurityconsistentofthePeriodofValidityofBids. | |
| 16.1 | 投标有效期/PeriodofValidityofBids：投标应自提交投标文件的截止之日起90日内保持有效。/Bidsshallremainvalidfortheperiodof90daysfromtheDeadlineforSubmittingBids. |
| 17.1 | 投标文件的份数/NumberofBid：正本1份，副本4份/Oneoriginalandfourcopies.。投标人应提供投标文件全部内容的电子文档1份（其中：制造商资格申明、制造商授权函、分项报价表及报价清单文件须为单独的扫描件），并密封在投标文件的正本内。/Thebiddershallprepareanelectronicdocumentsealedwithintheoriginalbid,involvingallcontentsofthebid（TheManufacturer'sQualificationStatement,LetterofAuthorityfromManufacturer,BidScheduleofPricesandlistofPricemustbeSeparatepiecesofscanning）. |
| *17.2 | *投标文件的每一页都应由法定代表人或其授权代表用姓或首字母签字。/Eachpageofthebidshallbeinitialedbythelegalrepresentativeorapersonorpersonsdulyauthoreizedtobindthebidder. |
| 18.2 | 1）递交的地址/DeliveryAddress：中国上海市共和新路1301号C座111会议室/C111Room,No.1301GonghexinRoad，Shanghai，PRC。 |
| 18.2 | 2）项目名称、投标邀请的标题、编号/ProjectName,TheInvitationforBids（IFB）titleandnumber：0834-2241SH22A155 |
| 18.4 | 如果投标文件未按本须知要求密封，招标机构将拒收。/Ifthebidisnotsealedandmarked |
| 2.goodsofferedfromabroad: | |
| 2.1Aftercontractissigned,thePurchasershallissue100%irrevocableletterofcredit（L/C） | |
| receivabletotheSupplier; | |
| 2.2Aftercontractissigned,thePurchasershallissue90%irrevocableletterofcredit | |
| （L/C）receivabletotheSupplier; | |
| 2.3.10%ofthecontractvaluetobepaidagainstthefollowingcertificateafterthe | |
| acceptance. | |
| 2.3.1CommercialInvoicein3copies. | |
| 2.3.2ThefinalacceptanceSignedbybothpartiesin2copies. | |
| 2.4.Thebankingservicechargethatoccurinthebuyer’scountryareaffordedbythebuyer,ortheotherbankingservicechargethatoccuroutsidethebuyer’scountryareaffordedbytheseller. | |
| *32.2 | 仲裁的地点和仲裁的官方语言：仲裁应由中国国际经济贸易仲裁委员会（CIETAC）上海分会按其仲裁规则和程序在上海进行，仲裁的官方语言应为中文。/LocationandofficiallanguageofArbitration:AnydisputeshallfinallybesettledbyarbitrationinShanghai,undertheShanghaiBranchofChinaInternationalEconomicandTradeArbitrationCommission（CIETAC）inaccordancewithitsarbitrationrules/procedures.Unlessotherwiseagreed,theofficiallanguageofArbitrationshallbeChinese. |
| 37.3 | *附件7对于合同签署及履行方式的说明 |
*附件7对于合同签署及履行方式的说明
| 内容 | 投标情况说明 | 备注 |
| 投标人名称 | ||
| 供货方式 | 填写境内供货或境外供货。境内供货包括关境内制造的货物和投标截止前已经进口至关境内的货物。境外供货指从关境外提供的货物。保税区提供的货物为境外供货。 | |
| 中标合同形式 | 对于境内供货，属于内贸合同；对于境外供货，属于外贸合同。 | |
| 价格条件 | 对于境内供货，应为DDP项目现场价；对于境外供货，应为CIP上海价。 | |
| 投标货币 | 对于境内供货，应为人民币；对于境外供货，应为国际流通货币。投标货币即为中标合同项下的支付货币，请确认合同签署主体能否收取相应货币。 | |
| 中标合同拟签署方名称 | 指中标后，作为卖方或乙方签署合同的单位：1、投标人为境外货物制造商，合同签订方为投标人；2、投标人为境外代理公司，合同签订方为投标人；3、投标人为境外代理公司，合同签订方为货物制造商，须提供《合同签署说明》。如未提供《合同签署说明》的，合同签订方只能是投标人。4、投标人为境内公司，投标货物为境外供货，报价为CIP上海，须签订外贸合同：*4.1、由货物制造商直接签订合同的，必须提供《合同签署说明》，若不提供，则视为不具有履约能力，取消中标资格。*4.2、若投标人需另行委托境外注册公司作为其代理签署外贸合同的，则必须在投标文件中提供相应的《授权委托书》及该被授权公司的合法注册文件，同时该被授权公司也必须获得投标货物制造商的有效授权。若不提供，则视为不具有履约能力，取消中标资格。 |
投标人代表签名：________________________
日期：年月日
*注：1、注册在中华人民共和国保税区的境内公司视为境外公司。
2、若投标单位为境外制造商直接投标，不需要提供《对于合同签署及履行方式的说明》。
合同签署说明
致：（招标人）
我们（投标人名称），主要营业地点设在（投标人地址）作为本项目（项目名称及编号）的投
标人，就项目中标后的合同签署作如下说明：
若我方在（填入招标项目名称及编号）（以下简称“本项目”）中中标，由本次投标货物的制
造商（制造商名称）代表我方根据本项目招标文件的规定和投标文件的承诺与招标方签署供货
合同，并办理相关合同商务事宜。
本说明文件在本项目招标文件规定的投标有效期内（包括投标人同意延长的投标有效期内）始
终有效。
投标人名称：（填入投标人全称）
投标人公章：
投标人的法定代表人签名：
制造商名称：
签字人姓名和职务：
签字人签字：
授权委托书
致：（招标人）
我们（投标人名称），主要营业地点设在（投标人地址），兹指派主要营业地点设在（被授权
人地址）的（被授权人名称）作为我方的合法代理人进行下列有效的活动：
1）若我方在（填入招标项目名称及编号）（以下简称“本项目”）中中标，由（被授权人名称）
代表我方根据本项目招标文件的规定和投标文件的承诺与招标方签署供货合同，并办理相关合
同商务事宜。
2）我方作为投标人，对被授权人在办理和履行本委托书下的委托事项过程中的所有行为承担全
部法律责任。
3）我方兹授予（被授权人名称）全权办理和履行上述我方为完成上述各点所必须的事宜，具有
替换或撤消的全权。被授权人无转委托权。
本授权书在本项目招标文件规定的投标有效期内（包括授权人同意延长的投标有效期内）始终
有效。
授权人：（填入投标人全称）
授权人公章：
授权人的法定代表人签名：
被授权人：（填入被授权人全称）
被授权人公章：
Section8.ScheduleofRequirementsandTechnicalSpecifications
第八章货物需求一览表及技术规格
1、设备需求一览表
| 序号 | 货物名称 | 数量 | 交货期 | 备注 |
| 1 | 特种磁控溅射镀膜系统 | 1（台/套） | 收到首付款10个月 |
2、设备概述
所需设备为特种磁控溅射镀膜系统，主要用于“新能源材料与器件研制平台”中薄膜电池与
电极的制备。
3、主要配置
所需设备：特种磁控溅射镀膜系统
技术要求：
1）磁控溅射镀膜真空腔体：
1.1*超高真空反应腔体；腔体载样尺寸≥Φ30×400mm；腔体顶部采用双密封圈或铜垫片密封
法兰，并配置重型液压或电机升降装置，便于打开腔体顶盖；
1.2*真空腔体的真空度≤1*10-6Torr；
1.3支持上述尺寸的腔门；
1.4主腔体至少配备2个6英寸观察窗，带磁耦合集成挡板；并且预留RGA和RHEED等备用集成
接口，满足后续升级需求。
2）样品台：
2.1*样品台可支持直径不小于30mm，长度不小于400mm的管状物；具备溅射4英寸及以下尺寸
基片的能力；
2.2样品台可在0∼20RPM的范围内程控自动转动，可调工作距离不少于75mm；
2.3*样品台可在氧气环境下加热，加热温度≥400oC，PID温控精度等于或优于±1oC；
2.4偏压样品台，可以支持溅射前的等离子预清洗，保证可以获得最佳的膜基层。
3）靶枪：
3.1*配置不少于4套2英寸或3英寸超高真空原位偏转共溅射靶枪（向上溅射）；靶枪可后续
升级成强磁靶枪，强磁靶枪支持非磁性材料和磁性材料工作模式的切换，可兼容3mm厚磁
性材料（含Fe）；所有靶枪均配备独立的气动挡板和套筒，防止靶材交叉污染，并且至
少可预留1个离轴溅射靶接口，后续可升级；在腔体不破真空的状态下对靶材溅射方向可
调，调节角度不少于15°；
3.2*可以支持DC直流溅射金属材料；
3.3*可以支持脉冲DC溅射介质和金属材料；
3.4*所有靶枪磁铁全部采用稀土磁铁材质。磁铁安装在水冷系统外，确保后续维护、清洁、
故障排除和维修的便利。
4）靶枪电源：
4.1至少2套750W直流电源（1000V,1A,其中一套自带一转四的四路转换器）；至少2套300W射
频电源，带1套射频电源一转四的四路电源转换器、自动匹配网络及输出电缆，所有靶枪
均可以用于直流电源或射频电源工作模式，不用增加额外的成本，可通过系统软件进行
相关配置；
4.2靶枪电源可以通过切换开关，给不同的靶枪供电；
4.3*靶枪电源支持Ni、Cu、Al等金属，金属氧化物陶瓷（如钴酸锂LiCoO2、磷酸铁锂LiFePO4、
锰酸锂LiMn₂O₄等）靶材的溅射镀膜需求；
4.4*同时具备磁控溅射、热蒸发、电子束蒸发功能，其中热蒸发/电子束蒸发功能可集成于
一个腔室；
4.5*满足金属Li等低熔点金属的热蒸发，贵金属Au、Pt、Pd等的电子束蒸发功能。
5）膜厚控制：
5.1*膜厚均匀性：优于±3%（Φ30×400mm样品），优于±2%@100mm基片（去除5mm边缘）；
5.2*配套全自动膜厚监控系统，且膜厚可修正；
5.3*支持以目标膜厚为工艺终点条件，达到设定目标膜厚时自动停止工艺；
5.4包含晶振传感器4个，包括一个双晶振探头，可实现自动切换，当一个晶振片寿命用尽时
可自动切换至另一个晶振片，包含一个磁控溅射专用的校准探头；
5.5晶振头带冷却功能。
6）气路控制：
6.1*配置至少3路MKS或同级别品牌质量流量控制气路（Ar-100sccm，O2、N2气路-20sccm），带
独立的气动隔离阀和过滤器；
6.2*PID闭环自动压力控制/隔离阀；低温泵安全互锁机制；采用1000位下游压力控制阀精确
控制工艺气体；在电源故障的情况下，系统预设电池组3秒内安全关闭阀门；
6.3氩气直接通入到靶枪内，反应气体通入到样品台高度位置提高气体利用率和工艺控制；
6.4气体的流量通过计算机全自动精确控制。
7）真空系统：
7.1*主腔体配置同等或不低于知名品牌BrooksCTI-8或同级别厂家生产的低温泵，抽速不低
于1500升/秒；利用预真空室真空泵对主腔室进行粗抽和对低温泵进行冷凝再生；
7.2*真空能力≤30min，即真空度抽至10-6Torr时所需时间不超过30min。此外，惰性气氛
环境下，20分钟左右可达到10-6Torr量级的高真空；
7.3全量程真空检测系统为MKS、莱宝或INFICON等同级别品牌，裸离子规，对流真空计，
0.1Torr电容真空计，带同步显示三个测头输出信号；
7.4*真空度满足金属锂的镀膜需求，锂膜具有光亮的金属光泽，且5h内锂膜表面无肉眼可见
变化（如金属光泽变暗、氧化变灰等）；
8）电子束蒸发及热蒸发蒸镀系统：
8.1*超高真空反应腔体；腔室尺寸可以支持放置直径不小于30mm，长度不小于400mm的管状
物；
8.2腔体集成电子束蒸发、热蒸发源；
8.3可预留RGA以及其他按需定制接口，所有预留接口皆封闭；
8.4*带独立蒸发样品台，样品台具备蒸镀4英寸及以下尺寸基片的能力，可在0∼20RPM的范围
内程控自动转动；
8.5主腔体配置国际知名品牌Pfeiffer或同级别宽量程涡轮分子泵，抽速不低于1200l/s，带
控制器、电缆和延迟进气阀；以及气冷多级罗茨泵，主腔室极限真空可达到5×10-8Torr，
全量程真空计，真空控制器同时显示2个真空计输出：冷阴极规、对流真空计；
8.6*热蒸发源：坩埚（15cc）电阻舟（不大于1.5"长x0.75"宽x0.5"深），带气动挡
板，避免交叉污染用的水冷隔离罩，3KW电源，并带偏转功能；
8.7*电子束蒸发源：4槽（pocket）15cc坩埚电子束蒸发源，6KW专用电源，带控制器集成扫描
控制，配置灯丝、线圈馈通，带气动挡板，适时控制蒸镀工艺；
8.8石英晶振沉积控制器，石英晶体沉积控制器：包含2个带屏蔽罩的水冷QCM传感器、振荡
器、电缆、馈通和20个晶体；控制2个电子束和1个热蒸发电源，有助于控制同时沉积；
还可控制单个源挡板、基片挡板和电子枪选位；
8.9配置至少1路MKS或同级别品牌质量流量控制气路（Ar-100sccm），带独立的气动隔离阀和
过滤器；
9）整机系统：
9.1*整机磁控溅射和电子束/热蒸发各沉积单元与手套箱集成，可在手套箱中完成薄膜电池
的制备工艺；
9.2手套箱不少于单面4工位操作，配备适合链接其他真空沉积系统的接口（磁控溅射、热蒸
发或其他PVD/CVD系统），完整的手套箱操作、包含手套、安全视窗、各型支架结构，传
送精确、易拆卸、易操作，手动/自动操作，控制充放气，PLC程序设定，除氧除水：H2O
≤1ppm，O2≤1ppm，泄漏率≤0.01Vol%/h；
9.3操作界面简单，可设定循环参数，实现计算机全自动控制；
9.4*提供2套独立开放式可编程Labview软件计算机控制系统，包括但不限于以下功能：
Windows图形用户界面和显示屏；软件具有可编程自动控制能力；能够通过显示屏实时显
示系统真空、工艺气体流量、T/C温度反馈、样品台旋转、电子枪自动选位等工艺参数及
工艺过程；其中磁控沉积控制部分带有5个直流和4个射频电源接口，电子束及热蒸发沉
积部分带有3个直流和3个射频电源接口，用于输出模式、定点、线性缓慢升温和等离子
检测控制；
9.5*操作软件应具备带多项自动保护功能、系统故障自检功能和提示报警功能；不少于100
个单独密码保证工艺膜层和工艺安全性，采用多级进入系统操作，确保系统运行和真空
控制的安全性；
9.6具有开关位置/直流电源反馈，直流偏压反馈（射频），等离子体识别，工艺气压，气体
流反馈，温度反馈，并能将数据实时显示在PC上；
9.7系统所有核心组件，包含膜厚监控仪、靶枪、分子泵等均带冷却保护系统；
9.8要求支持密码访问保护的多级访问授权。
4、工作条件（供应商提供）
设备使用的工程条件：
总电源：220/380V，30A/Phase，50Hz；
压缩空气：80-120PSI；
冷却水：8-12LPM,10-25°C,45-70PSI（3.1-4.8Bar）,最小压差45psi（3.1Bar）。
冷却水过滤<150微米颗粒；
氮气（用于泄压）：配套带减压阀的氮气罐。
如有特殊要求，需供应商提出。
5、验收性能指标方法（供应商提供）
性能验收：
1.技术要求：系统各技术指标满足要求；
2.功能测试：包括真空系统、溅射电源系统、程序控制系统、气体控制系统、自动保护功能
正常；
6、安装、调试、验收及培训
卖方负责对设备进行指导安装和调试。并负责对买方进行免费操作培训。
7、*质保期和售后服务
质保期为1年，从设备验收合格后起算，以该产品的说明书规定的技术参数或技术协议为质量
标准；质保期过后，若设备发生故障，卖方工程师在收到用户的维修服务要求后12小时内作出回
应，如有需要48小时内到达用户现场进行维修。
8、*已装机量要求
设备生产厂商必须为国际知名供应商，至少需要提供2份同型号设备的业绩证明材料。
9、技术资料
供货商必须提供详细的技术说明书，且所提供的技术资料必须同货物相一致，包括但不限于以下
文件：
（1）设备技术说明书
（2）设备操作手册
（3）出厂合格证明
（4）货物装箱清单
（5）设备电气原理图
（6）设备安装维护手册
（7）设备安全操作规程。
10、包装与运输
10.1设备采用整体运输。
10.2运输方式：由卖方负责运输，运输费用由卖方承担。
11、*交货期与交货地点：
11.1*交货期：收到首付款起10个月。
11.2*交货地点：买方现场江苏省太仓市良辅路6号。
12、技术服务
12.1．仪器到达用户所在地后，在接到用户通知后1周内执行安装调试。
12.2．仪器的安装调试应在于2周内完成。
12.3．技术培训：在用户现场对用户为期不少于1天的培训。培训内容包括：设备的技术原理、操
作、基本维护等。
12.4．维修响应时间：供方应在24小时内对用户的服务要求做出响应，接到用户维修通知后3个工
作日内必须到客户现场。
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