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晶振传感器
"晶振传感器"标讯
招标
高真空热蒸发镀膜系统-扬州大学-竞价公告(CB111172024001136)
项目地址
江苏省
发布时间
2024/11/18
招标产品
标准晶振传感器
保护措施
PID调节
配件
磁流体密封
有机蒸发源
动密封
避免扬尘
PLC
相序检测
源间配有隔板
基片台
报警
气压检测
设备使用成本
继电器
高真空热蒸发镀膜系统
设备主要部件
水排分水器
一键式全自动控制系统
可输入工艺参数速率
方形基片
气路设计
分子泵
缺水
一键自动蒸镀
温控仪
过滤网
耐高温尼龙水管
蒸发源分区域设计
贵金属金
膜厚仪
工控机
源上配独立挡板
真空室
蒸发舟
高精度蒸发电源
真空泵机组
金属蒸发源
电极
真空系统
招标公司
扬州大学
招标
真空热蒸发镀膜机（XF-WSBX-2400524）采购公告
金额
24万元
项目地址
浙江省
发布时间
2024/10/23
招标产品
基片架装置
样品盘
蒸发电源
标准晶振传感器
膜厚控制系统
高真空镀膜
蒸发源
真空热蒸发镀膜机
底盘结构
真空室配真空计
蒸发电极
分子泵
真空应用设备
真空泵
基片架结构
真空腔体
膜厚仪
旁抽系统
自动化控制软件
带有一键自动蒸镀
真空系统
前级泵
招标公司
浙江大学
中标
中国科学院上海硅酸盐研究所特种磁控溅射镀膜系统国际招标中标公告
金额
447.06万元
项目地址
上海市
发布时间
2022/07/12
招标产品
程序控制系统
系统预设电池组3秒内安全关闭阀门
自动保护
自动匹配网络
过滤器
冷却水
机电产品
膜厚控制
膜厚监控系统
低温泵安全互锁机制
溅射电源
安装
全量程真空检测系统
靶枪电源
双晶振探头
采用1000位下游压力控制阀
压缩空气
功能测试
验收
特种磁控溅射镀膜系统
氮气罐
热蒸发源
调试
工艺气体
气冷多级罗茨泵
对流真空计
冷阴极规
晶振头
全量程真空计
科学研究
带独立蒸发样品台
气体控制系统
总电源
氩气
输出电缆
操作培训
晶振片
配套带减压阀
电子束蒸发源
晶振传感器
强磁靶枪
校准探头
超高真空反应腔体
磁控溅射镀膜真空腔体
工艺控制
射频电源
气路控制
PID闭环自动压力控制
电子束蒸发及热蒸发蒸镀系统
真空系统
气动隔离阀
招标公司
中国科学院上海硅酸盐研究所
中标公司
重庆跳望科技有限公司
共2家
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