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气冷多级罗茨泵
"气冷多级罗茨泵"标讯
中标
中国科学院上海硅酸盐研究所特种磁控溅射镀膜系统国际招标中标公告
金额
447.06万元
项目地址
上海市
发布时间
2022/07/12
招标产品
程序控制系统
系统预设电池组3秒内安全关闭阀门
自动保护
自动匹配网络
过滤器
冷却水
机电产品
膜厚控制
膜厚监控系统
低温泵安全互锁机制
溅射电源
安装
全量程真空检测系统
靶枪电源
双晶振探头
采用1000位下游压力控制阀
压缩空气
功能测试
验收
特种磁控溅射镀膜系统
氮气罐
热蒸发源
调试
工艺气体
气冷多级罗茨泵
对流真空计
冷阴极规
晶振头
全量程真空计
科学研究
带独立蒸发样品台
气体控制系统
总电源
氩气
输出电缆
操作培训
晶振片
配套带减压阀
电子束蒸发源
晶振传感器
强磁靶枪
校准探头
超高真空反应腔体
磁控溅射镀膜真空腔体
工艺控制
射频电源
气路控制
PID闭环自动压力控制
电子束蒸发及热蒸发蒸镀系统
真空系统
气动隔离阀
招标公司
中国科学院上海硅酸盐研究所
中标公司
重庆跳望科技有限公司
共2家
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