一、合同编号：[350200]HC[GK]2022078
二、合同名称：超高低温探针测试平台等设备项目
三、项目编号：[350200]HC[GK]2022078-2
四、项目名称：超高低温探针测试平台等设备项目
五、合同主体
采购人(甲方)：厦门理工学院
地址：厦门市集美区理工路600号
联系方式：0592-6291993
供应商(乙方)：杭州大华仪器制造有限公司
地址：杭州市富阳区东洲工业园十一号路3号
联系方式：0571-58837556
六、合同主要信息
主要标的：

序号	名称	数量(单位)	单价(元)	总价(元)	规格型号/服务要求
1	高真空磁控溅射薄膜沉积系统	1(台)	￥858,000.00	￥858,000.00	1.系统可用于制备Au、Ag、Pt、W、Mo、Ta等金属薄膜，也可以用于制备氧化铝、氧化钛、氧化锆、ITO、等非金属薄膜。 ▲2.设备的极限真空度：≤6.6x10-6Pa(经烘烤除气后)。 3.设备的抽速：从大气开始抽气：25分钟（含）以内可达到6.6x10-4 Pa。 4.设备真空室结构：优质304不锈钢材质，具备内烘烤除气功能，手动前开门单室结构。 5.磁控溅射靶：3套；2寸大小，其中一套可以实现铁磁性材料溅射，靶基距可调。6.靶材工位原位自清洁功能。 7.电源选择：2套直流电源： ①输出功率范围：0-500W； ②输出电流范围：0-1A； ▲③支持的调节方式：功率、电压、电流； ④功率稳 定性：设定值的1%或额定功率的0.2%（两者取较大值）； ⑤电源效率：最大功率的93%。 8. 1套射频电源，带自动匹配器，输出功率区间0~600W，13.56MHZ： ①输入频率50~60Hz； ▲②最大输出功率600W； ▲③最小输出功率10W； ④输出频率13.56MHz±0.005%； ⑤谐波-50dBc； ▲⑥功率稳 定性：设定值的1%或额定功率的0.2%（两者取较大值）； ⑦匹配器最大支持功率：1500W； ⑧匹配精度：最大功率值1%； ⑨匹配时间：＜2sec（预设时）。 9.基片台：4寸样品，可加热500℃，且可自转，带辅助沉积功能。 10.配工艺薄膜规，实现进气抽气自动化化工艺。 11.工艺气路系统：配有气体搅拌装置，在搅拌后均匀进气，三路质量流量控制器控制。 12.采用机械泵+分子泵形式抽气，机械泵可多拓展使用。 ▲13.制备超晶格结构氮化镓，厚度5μ，Φ25mm均匀性±2%。 ▲14.制备氮化铝，厚度2纳米，Φ25mm均匀性±2%。 ▲15.设备可制备楔形膜。 ▲16.以Ti或Cu任选一种靶材做工艺测试，样品直径为4英寸，镀膜厚度300nm左右进行标定，膜厚均匀性优于±5%。 ▲17.系统采用自动控制模式，软件拥有著作权证书，采用配方式自动工艺流程，提供开放式工艺编辑、存储与调取执行，可实现真空获得、控制温度、镀膜工艺、真空释放等工艺的自由组合，并一键式全自动运行。 18.配进样室系统，极限真空度≤6.67x10-4Pa。 19.可实现多基片存放系统及手动运输系统，减少实验所需等待时间。 20.多基片系统实时状态观察系统。

合同金额： 858,000.00元，大写(人民币)：捌拾伍万捌仟元整
履约期限：2023年02月27日至2023年07月31日
履约地点：厦门市集美区理工路600号
采购方式：公开招标
七、合同签订日期
2023年01月03日
八、合同公告日期
2023年03月10日
九、其他补充事宜
合同附件：
厦门理工学院-材料物理双方盖章合同.pdf
厦门理工学院
2023年03月10日