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工艺薄膜规
"工艺薄膜规"标讯
中标
厦门理工学院超高低温探针测试平台等设备项目政府采购合同公告
金额
85.8万元
项目地址
福建省
发布时间
2023/03/10
招标产品
机械泵
配进样室系统
真空释放
工艺测试
超高低温探针测试平台
磁控溅射靶
系统采用自动控制模式
高真空磁控溅射薄膜沉积系统
气体搅拌装置
靶材工位原位自清洁功能
铁磁性材料溅射
进气抽气自动化化工艺
基片台
工艺气路系统
辅助沉积功能
镀膜工艺
控制温度
楔形膜
分子泵
氮化镓
氮化铝
多基片存放系统
直流电源
三路质量流量控制器控制
靶基距可调
工艺薄膜规
实时状态观察系统
材料物理
射频电源
配方式自动工艺流程
自动匹配器
手动运输系统
招标公司
厦门理工学院
中标公司
杭州大华仪器制造有限公司
共4家
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