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配方式自动工艺流程
"配方式自动工艺流程"标讯
招标
高真空磁控溅射薄膜沉积系统（GY202500029）采购公告
金额
40万元
项目地址
山东省
发布时间
2025/01/07
招标产品
不锈钢螺钉螺帽
无氧铜圈
工具箱
电动插板阀
冷水机
氧气
蒸镀膜
真空释放
工艺电源
强磁靶
氮气
存储
磁控溅射靶
报警记录
脂润滑分子泵
化合物薄膜
外照明灯
永磁靶
高真空磁控溅射薄膜沉积系统
调取执行
自动匹配器
冷却水循环机
基片台
设备中各部分模块参数的手动设置
挡板
金属膜
质量流量控制计
镀膜工艺
控制温度
磁控靶
气体流量控制器
直流溅射电源
薄膜规
开放式工艺编辑
控制系统
工业镀膜
磁控溅射镀膜
真空计
湿法电镀
气动角阀
空气压缩机
偏压电源
烘烤灯
氩气
电离规
真空室
真空获得
射频溅射电源
工艺曲线
备件
手动控制
基片只要较低的温度即可得到结晶膜
旋片真空泵
半导体器件参数测量仪
配方式自动工艺流程
胶圈
保险丝
多靶材倾斜共溅射
一键式全自动运行
空压机
招标公司
信息科学与工程学院
中标
厦门理工学院超高低温探针测试平台等设备项目政府采购合同公告
金额
85.8万元
项目地址
福建省
发布时间
2023/03/10
招标产品
机械泵
配进样室系统
真空释放
工艺测试
超高低温探针测试平台
磁控溅射靶
系统采用自动控制模式
高真空磁控溅射薄膜沉积系统
气体搅拌装置
靶材工位原位自清洁功能
铁磁性材料溅射
进气抽气自动化化工艺
基片台
工艺气路系统
辅助沉积功能
镀膜工艺
控制温度
楔形膜
分子泵
氮化镓
氮化铝
多基片存放系统
直流电源
三路质量流量控制器控制
靶基距可调
工艺薄膜规
实时状态观察系统
材料物理
射频电源
配方式自动工艺流程
自动匹配器
手动运输系统
招标公司
厦门理工学院
中标公司
杭州大华仪器制造有限公司
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