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设备中各部分模块参数的手动设置
"设备中各部分模块参数的手动设置"标讯
招标
高真空磁控溅射薄膜沉积系统（GY202500029）采购公告
金额
40万元
项目地址
山东省
发布时间
2025/01/07
招标产品
不锈钢螺钉螺帽
无氧铜圈
工具箱
电动插板阀
冷水机
氧气
蒸镀膜
真空释放
工艺电源
强磁靶
氮气
存储
磁控溅射靶
报警记录
脂润滑分子泵
化合物薄膜
外照明灯
永磁靶
高真空磁控溅射薄膜沉积系统
调取执行
自动匹配器
冷却水循环机
基片台
设备中各部分模块参数的手动设置
挡板
金属膜
质量流量控制计
镀膜工艺
控制温度
磁控靶
气体流量控制器
直流溅射电源
薄膜规
开放式工艺编辑
控制系统
工业镀膜
磁控溅射镀膜
真空计
湿法电镀
气动角阀
空气压缩机
偏压电源
烘烤灯
氩气
电离规
真空室
真空获得
射频溅射电源
工艺曲线
备件
手动控制
基片只要较低的温度即可得到结晶膜
旋片真空泵
半导体器件参数测量仪
配方式自动工艺流程
胶圈
保险丝
多靶材倾斜共溅射
一键式全自动运行
空压机
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