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直连旋片式真空泵
"直连旋片式真空泵"标讯
中标
电子科技大学-竞价结果详情(CB106142019000092)
金额
51.48万元
项目地址
四川省
发布时间
2019/05/13
招标产品
倾斜靶共溅射方式镀膜
模块
显示器
垂直靶方式镀膜
控制软件
真空测量系统
直流磁控溅射镀膜
直连旋片式真空泵
加热器
工艺气体
磁控靶
自动压力控制系统
基于PLC及工控机的全自动控制功能
磁控共溅射镀膜
质量流量控制器
射频磁控溅射镀膜
工艺气路
辅助设施
真空计
自动控制系统
样品架系统
创世威纳
真空腔体
温控系统
直流电源
机柜机架
外延膜
安全报警系统
射频电源
磁控溅射镀膜机
超高真空电动调节插板阀
自动匹配器
复合分子泵
中标公司
北京创世威纳科技有限公司
共2家
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