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纳米叠层
"纳米叠层"标讯
中标
耐事故包壳纳米叠层涂层制备、界面效应及高分辨表征采购结果公告
发布时间
2023/12/25
招标产品
高分辨表征
界面效应
纳米叠层涂层制备
招标公司
中国核动力研究设计院
中标公司
上海大学
中标
耐事故包壳纳米叠层涂层制备、界面效应及高分辨表征成交候选人公示
发布时间
2023/12/06
招标产品
高分辨表征
涂层制备
界面效应
招标公司
中国核动力研究设计院
中标公司
上海大学
招标
耐事故包壳纳米叠层涂层制备、界面效应及高分辨表征[HDLY-FW-GKJT-23-1686]第3...
发布时间
2023/09/18
招标产品
纳米叠层涂层制备
界面效应
高分辨表征
招标
耐事故包壳纳米叠层涂层制备、界面效应及高分辨表征采购公告
发布时间
2023/09/01
招标产品
高分辨表征
涂层制备
界面效应
中标
原子层沉积系统采购项目(三次)结果公告（合同包 1 ）
金额
98.1万元
项目地址
福建省
发布时间
2023/04/12
招标产品
臭氧源系统
耐高温执行器
等离子体(ICP)发生器
原子层沉积系统
前源输送管路
独立进气口
前驱体输送管路
控制臭氧
反应腔系统
加热保温系统
加热套
臭氧破坏器
ALD专用阀门
臭氧发生器
纳米叠层
温度传感器
加热器
惰性气体自清洗系统
等离子体系统
等离子体源
质量流量控制器
ALD专用隔膜阀
金属前驱体源输送管路
载气辅助源输送系统
仪器仪表
加热源容器
加热源输送管路
4路液源
射频电源
载气管路
前驱体源输送系统
沉积单一薄膜
中标公司
江苏迈纳德微纳技术有限公司
中标
原子层沉积系统采购项目(三次)结果公告（合同包 1 ）
金额
98.1万元
项目地址
福建省
发布时间
2023/04/12
招标产品
原子层沉积系统
仪器仪表
反应腔系统
4路液源
载气辅助源输送系统
沉积单一薄膜
纳米叠层
前驱体源输送系统
前驱体输送管路
前源输送管路
金属前驱体源输送管路
加热源输送管路
载气管路
质量流量控制器
加热套
温度传感器
耐高温执行器
加热器
ALD专用阀门
加热源容器
加热保温系统
惰性气体自清洗系统
等离子体源
等离子体(ICP)发生器
ALD专用隔膜阀
独立进气口
射频电源
等离子体系统
臭氧源系统
臭氧发生器
臭氧破坏器
控制臭氧
中标公司
江苏迈纳德微纳技术有限公司
中标
北京科技大学原位纳米叠层超结构电极材料沉积系统中标公告
金额
348.9万元
项目地址
北京市
发布时间
2022/12/17
招标产品
原位纳米叠层超结构电极材料沉积系统
电子束真空室组件
招标公司
北京科技大学
中标公司
中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
中标
西安电子科技大学-竞价结果详情(CB107012019000043) —— 原子层沉积系统
金额
38.48万元
项目地址
陕西省
发布时间
2019/03/27
招标产品
源瓶
配置截止阀
可拆卸式保温套
管路载气为氮气
原子层沉积系统
平面基片
沉积模式
排气管路
台阶覆盖性
反应腔系统
配备分段独立控制加热系统
真空机械泵系统
配备进口数字式模拟量
纳米叠层
前驱体气体吸收器
金属单质膜
前驱体管路
前驱体源
独立载气吹扫系统
掺杂沉积
FTO
腔体含腔壁补偿加热器
金属氧化物薄膜
真空泵
PLC控制
沉积薄膜
不锈钢级管路
金属密封质量流量计
高纯度铝源
具有断电保护功能
进气出气管路
容器
高纵深比样品
洁净室
含气体稳定系统
配套加热套
梯度薄膜
腔体316L不锈钢整体成形
掺杂质
等离子体系统升级
固态源
配备进口数字压力计
配备独立的阀加热器
真空系统
独立流量计控制
沉积单一薄膜
招标公司
西安电子科技大学
中标公司
西安华波电子科技有限公司
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