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低温等离子激活系统
"低温等离子激活系统"标讯
招标
东南大学微纳系统国际创新中心12寸晶圆键合机采购(SEU-ZB-220948)采购公告
金额
4880万元
项目地址
江苏省
发布时间
2022/12/29
招标产品
低温等离子激活系统
机械叉
12寸晶圆键合机
主机内部为模块化设计
自动传送晶圆
非接触式光学调整器
键合模块
机械臂
湿法清洗系统
标准晶圆位置调整器
招标公司
东南大学
中标
广东省大湾区集成电路与系统应用研究院八英寸晶圆级压力键合系统(包括低温等离子激活系统、晶圆键合对准系统、晶圆键合系统)采购项目中标结果公告(1)
项目地址
广东省
发布时间
2021/08/31
招标产品
八英寸晶圆级压力键合系统
晶圆键合对准系统
低温等离子激活系统
晶圆键合系统
招标公司
广东省大湾区集成电路与系统应用研究院
中标
广东省大湾区集成电路与系统应用研究院八英寸晶圆级压力键合系统(包括低温等离子激活系统、晶圆键合对准系统、晶圆键合系统)采购项目评标结果公示公告(1)
项目地址
广东省
发布时间
2021/08/27
招标产品
低温等离子激活系统
晶圆键合系统
八英寸晶圆级压力键合系统
晶圆键合对准系统
招标公司
广东省大湾区集成电路与系统应用研究院
招标
广东省大湾区集成电路与系统应用研究院八英寸晶圆级压力键合系统(包括低温等离子激活系统、晶圆键合对准系统、晶圆键合系统)采购项目国际招标澄清或变更公告(2)
金额
940万元
项目地址
广东省
发布时间
2021/08/05
招标产品
八英寸晶圆级压力键合系统
低温等离子激活系统
晶圆键合对准系统
八寸晶圆压力键合demo
晶圆键合系统
招标公司
广东省大湾区集成电路与系统应用研究院
招标
广东省大湾区集成电路与系统应用研究院八英寸晶圆级压力键合系统(包括低温等离子激活系统、晶圆键合对准系统、晶圆键合系统)采购项目国际招标公告(2)
金额
940万元
项目地址
广东省
发布时间
2021/07/28
招标产品
八英寸晶圆级压力键合系统
低温等离子激活系统
晶圆键合对准系统
晶圆键合系统
招标公司
广东省大湾区集成电路与系统应用研究院
招标
广东省大湾区集成电路与系统应用研究院八英寸晶圆级压力键合系统(包括低温等离子激活系统、晶圆键合对准系统、晶圆键合系统)采购项目国际招标公告(1)
金额
940万元
项目地址
广东省
发布时间
2021/07/20
招标产品
八英寸晶圆级压力键合系统
晶圆键合对准系统
低温等离子激活系统
晶圆键合系统
招标公司
广东省大湾区集成电路与系统应用研究院
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