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自动传送晶圆
"自动传送晶圆"标讯
招标
东南大学微纳系统国际创新中心12寸晶圆键合机采购（SEU-ZB-220948）采购公告
金额
4880万元
项目地址
江苏省
发布时间
2022/12/29
招标产品
低温等离子激活系统
机械叉
12寸晶圆键合机
主机内部为模块化设计
自动传送晶圆
非接触式光学调整器
键合模块
机械臂
湿法清洗系统
标准晶圆位置调整器
招标公司
东南大学
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