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中频磁控溅射电源
"中频磁控溅射电源"标讯
中标
离子源辅助多靶磁控溅射系统（JJ21000957）成交结果公告
金额
37.5万元
发布时间
2021/10/18
招标产品
低应力涂层
超硬涂层
生长打底层
离子刻蚀功能
涂层工艺开发
偏压清洗
矩形平面靶
分子泵
机械泵真空系统
真空室
脉冲偏压电源
机电设备
中频磁控溅射电源
离子源辅助多靶磁控溅射系统
可双靶同时生长合金层
工件架
离子源电源
招标公司
东北大学
中标公司
沈阳七勤精工科技有限公司
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