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光学膜厚量测
"光学膜厚量测"标讯
中标
（编号：QWQTJY24003）复旦大学宁波研究院宽禁带半导体材料与功率器件研究所SiC刻蚀等仪器设备采购项目中标公告
金额
518万元
项目地址
浙江省
发布时间
2024/01/31
招标产品
干法去胶机
仪器设备
贴膜机(划片保护)
应力检测设备
介质膜(氧化硅、氮化硅)刻蚀等仪器设备
金属溅射
贴膜机(减薄前)
聚酰亚胺烘烤
电阻率测试仪
信息化
介质膜(氧化硅、氮化硅)刻蚀
干法铝刻蚀
SiC刻蚀
光学膜厚量测
尾气处理Scrubber
揭膜机
金相显微镜
中标公司
江苏鲁汶仪器股份有限公司
共7家
中标
复旦大学宁波研究院宽禁带半导体材料与功率器件研究所SiC刻蚀等仪器设备采购项目中标公告
项目地址
浙江省
发布时间
2024/01/31
招标产品
仪器设备
干法去胶机
应力检测设备
贴膜机
金属溅射
聚酰亚胺烘烤
电阻率测试仪
干法铝刻蚀
SiC刻蚀
光学膜厚量测
尾气处理
揭膜机
金相显微镜
招标公司
复旦大学宁波研究院
中标公司
北京北方华创微电子装备有限公司
共7家
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