"聚酰亚胺烘烤"标讯
中标
复旦大学宁波研究院宽禁带半导体材料与功率器件研究所SiC刻蚀等仪器设备采购项目中标公告
项目地址
浙江省
发布时间
2024/01/31
招标产品
仪器设备干法去胶机应力检测设备贴膜机金属溅射聚酰亚胺烘烤电阻率测试仪干法铝刻蚀SiC刻蚀光学膜厚量测尾气处理揭膜机金相显微镜
招标公司
复旦大学宁波研究院
中标公司
北京北方华创微电子装备有限公司 共7家
中标
（编号：QWQTJY24003）复旦大学宁波研究院宽禁带半导体材料与功率器件研究所SiC刻蚀等仪器设备采购项目中标公告
金额
518万元
项目地址
浙江省
发布时间
2024/01/31
招标产品
干法去胶机仪器设备贴膜机(划片保护)应力检测设备介质膜(氧化硅、氮化硅)刻蚀等仪器设备金属溅射贴膜机(减薄前)聚酰亚胺烘烤电阻率测试仪信息化介质膜(氧化硅、氮化硅)刻蚀干法铝刻蚀SiC刻蚀光学膜厚量测尾气处理Scrubber揭膜机金相显微镜
中标公司
江苏鲁汶仪器股份有限公司 共7家
招标
复旦大学宁波研究院宽禁带半导体材料与功率器件研究所SiC刻蚀等仪器设备采购项目采购公告
金额
3394.35万元
项目地址
浙江省
发布时间
2024/01/10
招标产品
应力检测设备聚酰亚胺烘烤电阻率测试仪干法铝刻蚀SiC刻蚀尾气处理Scrubber揭膜机金相显微镜
招标公司
复旦大学宁波研究院
中标
​复旦大学宁波研究院宽禁带半导体材料与功率器件研究所电子束蒸镀机等仪器设备采购项目中标公告
项目地址
浙江省
发布时间
2023/12/18
招标产品
全自动晶圆改质切割机仪器设备划片机组全自动SiC晶圆开槽机应力检测设备氢气纯化器颗粒测试仪聚酰亚胺烘烤氮气纯化器电子束蒸镀机电子束镀膜机氧气纯化器裂片机揭膜机
招标公司
复旦大学宁波研究院
中标公司
无锡芯谱半导体科技有限公司 共4家
中标
复旦大学宁波研究院宽禁带半导体材料与功率器件研究所电子束蒸镀机等仪器设备采购项目中标公告
项目地址
浙江省
发布时间
2023/12/18
招标产品
仪器设备划片机组应力检测设备全自动SiC晶圆开槽机全自动SiC晶圆裂片机氢气纯化器颗粒测试仪聚酰亚胺烘烤晶圆改质切割机氮气纯化器电子束蒸镀机电子束镀膜机氧气纯化器揭膜机
招标公司
复旦大学宁波研究院
中标公司
清软微视（杭州）科技有限公司 共4家
招标
​复旦大学宁波研究院宽禁带半导体材料与功率器件研究所电子束蒸镀机等仪器设备采购项目采购公告
金额
75万元
项目地址
浙江省
发布时间
2023/11/23
招标产品
纯化器仪器设备划片机组应力检测设备监理规范编制颗粒测试仪聚酰亚胺烘烤整体设计项目管理电子束蒸镀机揭膜机
招标公司
复旦大学宁波研究院
招标
（编号：QWQTJY2333）复旦大学宁波研究院宽禁带半导体材料与功率器件研究所电子束蒸镀机等仪器设备采购项目的公开招标公告
金额
75万元
项目地址
浙江省
发布时间
2023/11/23
招标产品
电子束蒸镀机仪器设备应力检测设备颗粒测试仪揭膜机聚酰亚胺烘烤纯化器划片机组整体设计规范编制项目管理监理

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